2019年5月
Investigation of silicon-on-insulator CMOS integrated thermocouple and heater for antenna-coupled bolometer
Jpn. J. Appl. Phys.
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- 巻
- 58
- 号
- 開始ページ
- SDDE08_1
- 終了ページ
- SDDE08_7
- DOI
- 10.7567/1347-4065/ab12c4
- ID情報
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- DOI : 10.7567/1347-4065/ab12c4