国際会議 2008年 Development and Application of Tir-Based Chip Based on Mems Thechnology The first International Symposium on Micro/Nano Systems Technology Yokokawa, R., Le, N. C. H, Dao, D. V, Wells, J. C, Sugiyama, S 記述言語 英語 会議種別 口頭発表(一般)