2011年 Enhancement of Membrane Mirror Stroke of Piezoelectric Mems Deformable Mirrors for Adaptive Optics 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム Chun Doo-Man, Sato Masashi, Yokokawa Ryuji, Kanno Isaku, Kotera Hidetoshi, Tabata Osamu 記述言語 日本語 会議種別 口頭発表(一般)