諏訪智之 (Tomoyuki Suwa) - マイポータル

基本情報

所属: 東北大学未来科学技術共同研究センター開発研究部先進半導体センサ・デバイス開発プロジェクト准教授

学位: 博士（工学）(2006年3月東北大学)

J-GLOBAL ID: 200901047142490654
researchmap会員ID: 5000103413

外部リンク: http://db.tohoku.ac.jp/whois/detail/a62a05f94df50aa2f8207b4ab325399e.html

研究キーワード

電子デバイス、半導体、表面界面物性、計測技術

研究分野

経歴

2018年2月 - 現在

東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 准教授
2007年4月 - 2018年1月

東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 助教
2006年4月 - 2007年3月

東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 助手

学歴

2003年4月 - 2006年3月

東北大学大学院, 工学研究科博士課程後期3年の課程（電子工学専攻）
2001年4月 - 2003年3月

東北大学大学院, 工学研究科博士課程前期2年の課程（電子工学専攻）
1997年4月 - 2001年3月

東北大学, 工学部電子工学科
- 1996年3月

1996年 3月栃木県立栃木高等学校

委員歴

2022年6月 - 現在

電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会, 幹事
2016年1月 - 現在

応用物理学会薄膜・表面物理分科会、シリコンテクノロジー分科会電子デバイス界面テクノロジー研究会, 実行・プログラム委員
2020年6月 - 2022年5月

電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会, 幹事補佐

受賞

2014年9月

第36回応用物理学会論文賞「応用物理学会優秀論文賞」, 応用物理学会
2008年10月

第33回熊谷記念真空科学論文賞, ラジカル窒化シリコン酸窒化膜における窒素プロファイルのＸ線光電子分光分析による評価, 日本真空協会

河瀬和雅, 梅田浩司, 井上真雄, 諏訪智之, 寺本章伸, 服部健雄, 大見忠弘

論文

Threshold voltage uniformity improvement by introducing charge injection tuning for low-temperature poly-Si thin film transistors with metal/oxide/nitride/oxide/silicon structure

Tetsuya Goto, Tomoyuki Suwa, Keita Katayama, Shu Nishida, Hiroshi Ikenoue, Shigetoshi Sugawa

Japanese Journal of Applied Physics 63(2) 02SP51-02SP51 2024年1月17日
Visualization and Analysis of Temporal and Steady-State Gas Concentration in Process Chamber Using 70-dB SNR 1,000 fps Absorption Imaging System

Y. Sakai, Y. Shiba, T. Inada, T. Goto, T. Suwa, T. Oikawa, A. Hamaya, A. Sutoh, T. Morimoto, Y. Shirai …

IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 1-1 2023年
Adsorption and surface reaction of isopropyl alcohol on SiO2 surfaces

Takezo Mawaki, Akinobu Teramoto, Katsutoshi Ishii, Yoshinobu Shiba, Rihito Kuroda, Tomoyuki Suwa, Shuji Azumo, Akira Shimizu, Kota Umezawa, Yasuyuki Shirai …

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A 40(5) 2022年9月査読有り
A 70-dB SNR High-Speed Global Shutter CMOS Image Sensor for in Situ Fluid Concentration Distribution Measurements

Tetsu Oikawa, Rihito Kuroda, Keigo Takahashi, Yoshinobu Shiba, Yasuyuki Fujihara, Hiroya Shike, Maasa Murata, Chia-Chi Kuo, Yhang Ricardo Sipauba Carvalho da Silva, Tetsuya Goto …

IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES 69(6) 2965-2972 2022年6月査読有り
A high-precision current measurement platform applied for statistical measurement of discharge current transient spectroscopy of traps in SiN dielectrics

Koga Saito, Hayato Suzuki, Hyeonwoo Park, Rihito Kuroda, Akinobu Teramoto, Tomoyuki Suwa, Shigetoshi Sugawa

Japanese Journal of Applied Physics 60(8) 086501-086501 2021年8月1日査読有り
Modification of copper and copper oxide surface states due to isopropyl alcohol treatment toward area-selective processes

Takezo Mawaki, Akinobu Teramoto, Katsutoshi Ishii, Yoshinobu Shiba, Rihito Kuroda, Tomoyuki Suwa, Shuji Azumo, Akira Shimizu, Kota Umezawa, Yasuyuki Shirai …

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films 39(1) 2021年1月1日査読有り
Influence of silicon wafer surface roughness on semiconductor device characteristics

Keiichiro Mori, Shuichi Samata, Noritomo Mitsugi, Akinobu Teramoto, Rihito Kuroda, Tomoyuki Suwa, Keiichi Hashimoto, Shigetoshi Sugawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 59 2020年7月査読有り
Resistance Measurement Platform for Statistical Analysis of Emerging Memory Materials

Takeru Maeda, Yuya Omura, Rihito Kuroda, Akinobu Teramoto, Tomoyuki Suwa, Shigetoshi Sugawa

IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING 33(2) 232-239 2020年5月査読有り
Study on influence of O<inf>2</inf> concentration in wafer cleaning ambient for smoothness of silicon (110) surface appearing at sidewall of three-dimensional transistors

Tomoyuki Suwa, Akinobu Teramoto, Yasuyuki Shirai, Takenobu Matsuo, Nobutaka Mizutani, Shigetoshi Sugawa

ECS Transactions 97(3) 23-29 2020年4月査読有り筆頭著者
Effect of Drain-to-Source Voltage on Random Telegraph Noise Based on Statistical Analysis of MOSFETs with Various Gate Shapes

R. Akimoto, R. Kuroda, A. Teramoto, T. Mawaki, S. Ichino, T. Suwa, S. Sugawa

IEEE International Reliability Physics Symposium Proceedings 2020-April 2020年4月査読有り
A high-precision 1 Omega-10 M Omega range resistance measurement platform for statistical evaluation of emerging memory materials

Takeru Maeda, Yuya Omura, Rihito Kuroda, Akinobu Teramoto, Tomoyuki Suwa, Shigetoshi Sugawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 59(SG) 2020年4月査読有り
High reliability CoFeB/MgO/CoFeB magnetic tunnel junction fabrication using low-damage ion beam etching

Hyeonwoo Park, Akinobu Teramoto, Jun-ichi Tsuchimoto, Keiichi Hashimoto, Tomoyuki Suwa, Marie Hayashi, Rihito Kuroda, Koji Tsunekawa, Shigetoshi Sugawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 59 2020年4月査読有り
Amorphous titanium-oxide supercapacitors with high capacitance

Mikio Fukuhara, Tomoyuki Kuroda, Fumihiko Hasegawa, Yasuyuki Shirai, Tomoyuki Suwa, Toshiyuki Hashida, Masahiko Nishijima

EPL (Europhysics Letters) 128(5) 58001-58001 2020年2月4日査読有り
Low-Temperature Deposition of Silicon Nitride Films Using Ultraviolet-Irradiated Ammonia

Yoshinobu Shiba, Akinobu Teramoto, Tomoyuki Suwa, Katsutoshi Ishii, Akira Shimizu, Kota Umezawa, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa

ECS JOURNAL OF SOLID STATE SCIENCE AND TECHNOLOGY 8(11) P715-P718 2019年11月査読有り
Effects of temperatures and carbon dioxide nanobubbles on superior electric storage for anodically oxidized films of AlY10 amorphous alloy

Mikio Fukuhara, Tomoyuki Kuroda, Fumihiko Hasegawa, Masayoshi Takahashi, Tomoyuki Suwa, Toshiyuki Hashida, Kazuhisa Sato, Masahiko Nishijima, K. Konno

AIP ADVANCES 9(9) 2019年9月査読有り
SiNx deposition at low temperature using uv-irradiated NH3

Y. Shiba, A. Teramoto, T. Suwa, K. Ishii, A. Shimizu, K. Umezawa, R. Kuroda, S. Sugawa

ECS Transactions 89(4) 31-36 2019年査読有り
Resistance Measurement Platform for Statistical Analysis of Next Generation Memory Materials

Takeru Maeda, Yuya Omura, Akinobu Teramoto, Rihito Kuroda, Tomoyuki Suwa, Shigetoshi Sugawa

2019 IEEE 32ND INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONIC TEST STRUCTURES (ICMTS) 2019-March 70-75 2019年査読有り
An Electrical Impedance Biosensor Array for Tracking Moving Cells

Norichika Ogata, Akihisa Shina, Takayuki Komiya, Yoji Iizuka, Ken Matsuse, Fuminobu Imaizumi, Tomoyuki Suwa, Akinobu Teramoto

Proceedings of IEEE Sensors 2018-October 2018年12月26日査読有り
Statistical Analysis of Threshold Voltage Variation Using MOSFETs With Asymmetric Source and Drain

Shinya Ichino, Akinobu Teramoto, Rihito Kuroda, Takezo Mawaki, Tomoyuki Suwa, Shigetoshi Sugawa

IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS 39(12) 1836-1839 2018年12月査読有り
Effect of drain current on appearance probability and amplitude of random telegraph noise in low-noise CMOS image sensors

Shinya Ichino, Takezo Mawaki, Akinobu Teramoto, Rihito Kuroda, Hyeonwoo Park, Shunichi Wakashima, Tetsuya Goto, Tomoyuki Suwa, Shigetoshi Sugawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 57(4) 2018年4月査読有り

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MISC

100

インピーダンス計測プラットフォーム技術を用いた機能性薄膜に関する電気的特性の統計的計測

齊藤宏河, 鈴木達彦, 光田薫未, 間脇武蔵, 間脇武蔵, 諏訪智之, 寺本章伸, 寺本章伸, 須川成利, 黒田理人 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 84th 2023年
MONOS型低温ポリシリコンTFTにおけるしきい値電圧制御

後藤哲也, 後藤哲也, 諏訪智之, 諏訪智之, 片山慶太, 西田脩, 池上浩, 須川成利

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 84th 2023年
A 1000fps High SNR Voltage-domain Global Shutter CMOS Image Sensor with Two-stage LOFIC for In-Situ Fluid Concentration Distribution Measurements

Tetsu Oikawa, Rihito Kuroda, Keigo Takahashi, Yoshinobu Shiba, Yasuyuki Fujihara, Hiroya Shike, Maasa Murata, Chia-Chi Kuo, Yhang Ricardo Sipauba Carvalho da Silva, Tetsuya Goto, Tomoyuki Suwa, Tatsuo Morimoto, Yasuyuki Shirai, Masaaki Nagase, Nobukazu Ikeda, Shigetoshi Sugawa

International Image Sensor Workshop 258-261 2021年9月23日査読有り
Analysis of Reaction and Decomposition of Isopropyl Alcohol on Copper and Copper Oxide Surfaces Toward Area-selective Processes

Takezo Mawaki, Akinobu Teramoto, Katsutoshi Ishii, Yoshinobu Shiba, Tomoyuki Suwa, Shuji Azumo, Akira Shimizu, Kota Umezawa, Rihito Kuroda, Yasuyuki Shirai, Shigetoshi Sugawa

5th Area-Selective Deposition Workshop 1 2021年4月6日査読有り
IPAを用いた銅・酸化銅上の表面改質

間脇武蔵, 寺本章伸, 石井勝利, 志波良信, 諏訪智之, 東雲秀司, 清水亮, 梅澤好太, 黒田理人, 白井泰雪 …

電子情報通信学会技術研究報告(Web) 121(71(SDM2021 22-29)) 2021年
注入ゲート導入型ノーマリオフFloating Gate GaN HEMTの動作原理と構造 (電子デバイス)

南雲謙志, 木本大幾, 諏訪智之, 寺本章伸, 白田理一郎, 高谷信一郎, 黒田理人, 須川成利

電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 119(408) 55-58 2020年1月31日
注入ゲート導入型ノーマリオフFloating Gate GaN HEMTの動作原理と構造 (マイクロ波)

南雲謙志, 木本大幾, 諏訪智之, 寺本章伸, 白田理一郎, 高谷信一郎, 黒田理人, 須川成利

電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 119(409) 55-58 2020年1月31日
高精度電流計測アレイテスト回路を用いたMIM素子の大規模測定

鈴木勇人, PARK Hyeonwoo, 寺本章伸, 寺本章伸, 黒田理人, 黒田理人, 諏訪智之, 須川成利, 須川成利

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 67th 2020年
統計的計測によるドレイン-ソース間電圧がランダムテレグラフノイズに与える影響の解析

秋元瞭, 黒田理人, 黒田理人, 寺本章伸, 寺本章伸, 間脇武蔵, 市野真也, 諏訪智之, 須川成利

電子情報通信学会技術研究報告(Web) 120(205(SDM2020 14-21)) 2020年
IPAを用いた銅・酸化銅上の表面改質

間脇武蔵, 寺本章伸, 石井勝利, 志波良信, 諏訪智之, 東雲秀司, 清水亮, 梅澤好太, 黒田理人, 白井泰雪 …

電子情報通信学会技術研究報告(Web) 120(205(SDM2020 14-21)) 2020年
Dielectric breakdown of MgO in MRAM

A. Teramoto, J. Tsuchimoto, H. Park, M. Hayashi, K. Tsunekawa, T. Suwa, R. Kuroda, S. Sugawa

Special MRAM poster session IEEE International Electron Devices Meeting 4 2019年12月11日査読有り
次世代メモリ材料の高精度統計評価を行う抵抗測定プラットフォーム (シリコン材料・デバイス)

前田健, 大村裕弥, 黒田理人, 寺本章伸, 諏訪智之, 須川成利

電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 119(239) 59-64 2019年10月23日
高SN比CMOS吸光イメージセンサによる半導体プロセスチャンバー内ガス濃度分布計測 (シリコン材料・デバイス)

髙橋圭吾, da Silva Yhang Ricardo Sipauba Carvalho, 黒田理人, 藤原康行, 村田真麻, 石井秀和, 森本達郎, 諏訪智之, 寺本章伸, 須川成利

電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 119(239) 65-68 2019年10月23日
Synchrotron X-ray Photoelectron Spectroscopy on interface state densities of CVDGrown SiO2/4H-SiC Sturcures Treated by Post-Deposition Treatments

Akira Kiyoi, Tomoyuki Suwa, Kazumasa Kawase and Akinobu Teramoto

Extended Abstracts of the 2019 International Conference on Solid State Devices and Materials 741-742 2019年9月4日査読有り
An Accuracy Improved Resistance Measurement Platform for Evaluation of Emerging Memory Materials

Takeru Maeda, Yuya Omura, Rihito Kuroda, Akinobu Teramoto, Tomoyuki Suwa, Shigetoshi Sugawa

Extended Abstracts of the 2019 International Conference on Solid State Devices and Materials 531-532 2019年9月4日査読有り
High Reliability CoFeB/MgO/CoFeB Magnetic Tunnel Junction Fabrication Using Low-damage Ion Beam Etching

Hyeonwoo Park, Akinobu Teramoto, Jun-ichi Tsuchimoto, Keiichi Hashimoto, Tomoyuki Suwa, Marie Hayashi, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa

Extended Abstracts of the 2019 International Conference on Solid State Devices and Materials 401-402 2019年9月査読有り
高SN比吸光イメージングによる真空チャンバー内ガス濃度分布計測 (情報センシング)

髙橋圭吾, da Silva Yhang Ricardo Sipauba Carvalho, 沼尾直毅, 黒田理人, 藤原康行, 村田真麻, 石井秀和, 森本達郎, 諏訪智之, 寺本章伸 …

映像情報メディア学会技術報告 = ITE technical report 43(18) 11-14 2019年6月
Effects of Process Gases and Gate TiN Electrode during the Post Deposition Anneal to ALD-Al2O3 Dielectric Film

Masaya Saito, Akinobu Teramoto, Tomoyuki Suwa, Kenshi Nagumo, Yoshinobu Shiba, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa

AVS 65th International Symposium 152 2018年10月24日査読有り
ソースとドレインが非対称のMOSFETを用いた電気的特性ばらつきの統計的解析 (シリコン材料・デバイス)

市野真也, 寺本章伸, 黒田理人, 間脇武蔵, 諏訪智之, 須川成利

電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 118(241) 51-56 2018年10月17日
Impact of atomically flat SiO2/Si interface on improvement of MOS device performance

Akinobu Teramoto, Tomoyuki Suwa, Rihito Kuroda, and Shigetoshi Sugawa

European Advanced Materials Congress 204 2018年8月20日査読有り

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講演・口頭発表等

[1] 成膜工程と連動した基板表面処理と表面イニシャライズ

諏訪智之

CVD反応分科会第34回シンポジウム（公益社団法人化学工学会） 2021年8月4日招待有り
[2] 微細化に依らないMOSトランジスタの性能向上へのアプローチ

諏訪智之

SPring-8利用推進協議会次世代先端デバイス研究会(第3回) 2016年6月18日招待有り

共同研究・競争的資金等の研究課題

ポリイミド基板上に集積した多数TFTの自己整合的な特性ばらつき均一化技術の確立

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 基盤研究(C) 2022年4月 - 2025年3月

後藤哲也, 諏訪智之
原子オーダ平坦な界面を有する３次元立体構造トランジスタの製造プロセスに関する研究

日本学術振興会科学研究費助成事業特別推進研究特別推進研究 2010年4月 - 2015年3月

大見忠弘, 平山昌樹, 後藤哲也, 諏訪智之
超高感度・高分解能界面分析によるゲート絶縁膜/シリコン界面構造の決定

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2007年 - 2009年

服部健雄, 木村健二, 中嶋薫, 野平博司, 寺本章伸, 諏訪智之, 木下豊彦
高品質・高信頼性絶縁膜の形成プロセスに関する研究

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(スタートアップ) 若手研究(スタートアップ) 2006年 - 2007年

諏訪智之

産業財産権

特開2021-174960 選択成膜方法

東雲秀司, 梅澤好太, 石井勝利, 清水亮, 寺本章伸, 諏訪智之, 白井泰雪, 間脇武蔵
特許第6963264号窒化膜成膜方法

西村真一, 渡辺謙資, 山田義人, 寺本章伸, 諏訪智之, 志波良信
特開2021-044464 窒化物半導体トランジスタ装置

寺本章伸, 黒田理人, 諏訪智之, 白田理一郎, 高谷信一郎
特開2021-044327 半導体デバイス

森敬一朗, 佐俣秀一, 寺本章伸, 黒田理人, 諏訪智之
特許第6640160号成膜装置及び成膜方法

寺本章伸, 諏訪智之, 志波良信, 清水亮, 石井勝利
特許第6487288号電界効果トランジスタおよびその駆動方法

寺本章伸, 諏訪智之, 黒田理人, 古川貴一
特開2017-053654 化学物質感応性センサ及び該センサを使用する計測方法

寺本章伸, 諏訪智之, 渡辺浩志
特開2016-058500 半導体素子の形成方法

後藤哲也, 寺本章伸, 黒田理人, 諏訪智之
特開2016-039175 半導体素子、その素子を集積した半導体装置

大見忠弘, 諏訪智之
特許第5553256号 3次元構造のMOSFET及びその製造方法

諏訪智之, 田中宏明, 大見忠弘
特開2013-254982 半導体基板および半導体装置

大見忠弘, 寺本章伸, 諏訪智之, 黒田理人, 工藤秀雄, 速水善範
WO2013-150636 シリコンウェーハの原子オーダー平坦化表面処理方法及び熱処理装置

大見忠弘, 寺本章伸, 諏訪智之
WO2011-096417 シリコンウェーハおよび半導体装置

大見忠弘, 寺本章伸, 諏訪智之

諏訪智之

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研究キーワード

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委員歴

受賞

論文

MISC

講演・口頭発表等

共同研究・競争的資金等の研究課題

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