2019年6月1日
RFスパッタAZO薄膜の特性に及ぼす基板粗さの影響
MRS コミュニケーションズ
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- 巻
- 9
- 号
- 2
- 開始ページ
- 697
- 終了ページ
- 701
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- DOI
- 10.1557/mrc.2019.66
- リンク情報
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- DOI
- https://doi.org/10.1557/mrc.2019.66
- Web of Science
- https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=JSTA_CEL&SrcApp=J_Gate_JST&DestLinkType=FullRecord&KeyUT=WOS:000477661800031&DestApp=WOS_CPL
- Scopus
- https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85066738017&origin=inward
- Scopus Citedby
- https://www.scopus.com/inward/citedby.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85066738017&origin=inward
- ID情報
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- DOI : 10.1557/mrc.2019.66
- ISSN : 2159-6859
- eISSN : 2159-6867
- SCOPUS ID : 85066738017
- Web of Science ID : WOS:000477661800031