2004年
キャビテーションを有効利用した硬脆基板材料の吸引式超精密微細形状創成法の開発
山陽放送学術文化財団リポート
- 巻
- 48号,pp.19-23
- 号
- 48
- 開始ページ
- 19
- 終了ページ
- 23
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- 出版者・発行元
- 山陽放送学術文化財団
- リンク情報
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- CiNii Articles
- http://ci.nii.ac.jp/naid/40006461961
- CiNii Books
- http://ci.nii.ac.jp/ncid/AN00099570
- URL
- http://id.ndl.go.jp/bib/7124845
- ID情報
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- ISSN : 0289-0844
- CiNii Articles ID : 40006461961
- CiNii Books ID : AN00099570