産業財産権

特許権

パッド表面状態観察方法およびパッド表面状態観察装置

不二越機械工業株式会社、学校法人金沢工業大学
  • 守屋 紀彦
    • ,
  • 小林 拓実
    • ,
  • 澁谷 和孝
    • ,
  • 畝田 道雄
出願番号
特願2008-217890
出願日
2008年8月27日
特許番号/登録番号
特許第5366041号
登録日
発行日
2013年9月20日
権利者
不二越機械工業株式会社、学校法人金沢工業大学
特許庁（特許第5366041号）
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