講演・口頭発表等

2008年10月

Selective etching of sp2 carbon in a diamond-like carbon film by hyperthermal atomic oxygen exposures

4th Vacuum and Surface Sciences Conference of Asia and Australia
  • Masahito Tagawa
  • ,
  • Kumiko Yokota
  • ,
  • Akira Kitamura
  • ,
  • Koji Matsumoto
  • ,
  • Akitaka Yoshigoe
  • ,
  • Yuden Teraoka
  • ,
  • Kazuhiro Kanda
  • ,
  • Masahito Niibe

開催年月日
2008年10月 - 2008年10月
記述言語
英語
会議種別