超熱分子ビームによる次世代ナノプロセスの走査型プローブ顕微鏡を用いた実空間"その場"観察法を開発した.放射光光電子分光と相補的に利用することで,超熱分子ビームによる表面反応選択性の空間情報を検証することを試みた.放射光ビームラインにおいてSi(111)-7×7表面等の原子像観察に成功するとともに,Si(111)-7×7表面の室温酸化反応における酸素分子の並進運動エネルギーに依存した表面形状の違いを見出した.