2003年4月 薄膜作製応用ハンドブック 本多信一 担当区分 分担執筆 担当範囲 第3編 薄膜・表面・界面の分析と評価 第2章 薄膜分析・評価対象各論 第3節 形態分析 出版者・発行元 エヌ・ティー・エス
