木津良祐 (Kizu Ryosuke) - マイポータル

基本情報

所属: 国立研究開発法人産業技術総合研究所計量標準総合センター物質計測標準研究部門ナノ構造計測標準研究グループ

研究者番号: 40760294
J-GLOBAL ID: 201801015522200005
Researcher ID: L-8240-2018
researchmap会員ID: B000334669

研究分野

受賞

2025年3月

IOP Outstanding Reviewer Awards 2024, Surface topography: Metrology and Properties, IOP Publishing
2024年7月

Young Researcher Award, International Conference on Precision Engineering and Sustainable Manufacturing (PRESM) 2024
2022年3月

ベストプレゼンテーション賞, 公益社団法人精密工学会
2019年5月

2018 Highlights of Measurement Science and Technology, "Development of a metrological atomic force microscope with a tip-tilting mechanism for 3D nanometrology"

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Kazuto Kinoshita, Satoshi Gonda

論文

Abbe error correction in atomic force microscopy using scanner-angle measurements

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi

Measurement Science and Technology 36(10) 105019-105019 2025年10月31日査読有り筆頭著者
Distribution measurement of line edge roughness using a noise correction based on height–height correlation function

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology 24(04) 2025年10月2日査読有り筆頭著者
Comparing bottom–up and top–down SI traceability approaches in dimensional nanometrology: reference material measurements using transmission electron microscopy and atomic force microscopy

Ryosuke Kizu, Keita Kobayashi

Measurement Science and Technology 2025年5月31日査読有り筆頭著者
Evaluation of the change in photoresist sidewall roughness due to electron beam-induced shrinkage using atomic force microscopy

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology 22(04) 2023年12月7日査読有り筆頭著者
Experimental evaluation of usable specimen thickness of Si for lattice imaging by transmission electron microscopy at 300 kV

Keita Kobayashi, Ryosuke Kizu

Ultramicroscopy 256 113876 2023年10月23日査読有り
Developmental framework of line edge roughness reference standards for next-generation functional micro-/nanostructures

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda, Satoru Takahashi

Precision Engineering 83 152-158 2023年9月査読有り筆頭著者
Effect of white noise on roughness measurements of self-affine fractals

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda, Satoru Takahashi

Measurement Science and Technology 34(10) 105003-105003 2023年7月3日査読有り筆頭著者
Enhancing the precision of 3D sidewall measurements of photoresist using atomic force microscopy with a tip-tilting technique

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Journal of Applied Physics 133(6) 065302-065302 2023年2月14日査読有り筆頭著者
Pitch calibration of standard nanoscale for uncertainty reduction of certified reference materials for SEM image sharpness evaluation and magnification calibration

Ichiko Misumi, Kazuhiro Kumagai, Ryosuke Kizu

Surface Topography: Metrology and Properties 10(4) 044010-044010 2022年12月1日査読有り
Unbiased line edge roughness measurement using profile-averaging method for precise roughness parameters measurement

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology 21(02) 2022年5月30日査読有り筆頭著者
Research Activities of Nanodimensional Standards Using Atomic Force Microscopes, Transmission Electron Microscope, and Scanning Electron Microscope at the National Metrology Institute of Japan

Ichiko Misumi, Ryosuke Kizu, Hiroshi Itoh, Kazuhiro Kumagai, Keita Kobayashi, Tomoo Sigehuzi

Nanomanufacturing and Metrology 5(4) 445 2021年11月4日査読有り
Direct comparison of line edge roughness measurements by SEM and a metrological tilting-atomic force microscopy for reference metrology

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS 19(4) 2020年10月査読有り筆頭著者
A standard used for probe-tip diameter evaluation in surface roughness measurements using metrological atomic force microscope

Ichiko Misumi, Ryosuke Kizu, Kentaro Sugawara, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Measurement Science and Technology 31(9) 2020年9月査読有り
Line edge roughness measurement on vertical sidewall for reference metrology using a metrological tilting atomic force microscope

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS 19(01) 1-1 2020年3月23日査読有り筆頭著者
A reference-scan-based method for correcting the nonlinear drift of atomic force microscopy at sub-nanometer precision

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Measurement Science and Technology 2020年1月14日査読有り筆頭著者
Traceable Atomic Force Microscope for Surface Roughness Calibration of Sub-Nanometer Order

Ichiko MISUMI, Ryosuke KIZU, Akiko HIRAI, Satoshi GONDA

Journal of the Japan Society for Precision Engineering 2019年11月5日査読有り
Extension of the range of profile surface roughness measurements using metrological atomic force microscope

Ichiko Misumi, Kentaro Sugawara, Ryosuke Kizu, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Precision Engineering 2019年3月査読有り
Linewidth calibration using a metrological atomic force microscope with a tip-tilting mechanism

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Kazuto Kinoshita, Satoshi Gonda

Measurement Science and Technology 2019年1月1日査読有り筆頭著者
Development of a metrological atomic force microscope with a tip-tilting mechanism for 3D nanometrology

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Kazuto Kinoshita, Satoshi Gonda

Measurement Science and Technology 2018年7月1日査読有り筆頭著者
Re-Evaluation of Calibration and Measurement Capabilities of Pitch Calibration Systems Designed by Using the Diffraction Method

I. Misumi, J. Kitta, R. Kizu, A. Hirai

Int. J. of Automation Technology 11(5) 691-698 2017年9月5日査読有り

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MISC

LER distribution measurement using HHCF-based noise correction

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Metrology, Inspection, and Process Control XXXIX 13-13 2025年4月24日
AFM observation of EUV photoresist shrinkage due to electron-beam exposure

Ryosuke Kizu, Kazuhiro Kumagai, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Metrology, Inspection, and Process Control XXXVIII 62-62 2024年4月10日
Photoresist shrinkage observation by a metrological tilting-AFM

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Metrology, Inspection, and Process Control XXXVII 2023年4月27日
High-resolution sidewall observation and LER measurement of a photoresist pattern by a metrological tilting-AFM

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Metrology, Inspection, and Process Control XXXVI 15-15 2022年6月13日
Extension of the probe-tip error evaluation for areal surface roughness measurements using metrological AFM

Ichiko Misumi, Ryosuke Kizu, Kentaro Sugawara, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Measurement: Sensors 18 100092-100092 2021年12月査読有り
Evaluating SEM-based LER metrology using a metrological tilting-AFM

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV 2021年2月22日
Comparison of SEM and AFM performances for LER reference metrology

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXIV 11325 113250Q 2020年3月20日
Accurate vertical sidewall measurement by a metrological tilting-AFM for reference metrology of line edge roughness

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXIII 109592 109592B 2019年3月
三次元ナノ構造の寸法・形状計測技術に関する調査研究

木津良祐

産総研計量標準報告 9(4) 419-437 2018年6月

講演・口頭発表等

傾斜探針型測長AFMによるナノ構造の寸法・形状計測

木津良祐

ナノ科学シンポジウム2025 2025年10月24日招待有り
HHCFベースのノイズ補正技術を用いたラインエッジラフネスの分布計測

木津良祐, 三隅伊知子, 平井亜紀子, 権太聡

NGLワークショップ2025 2025年7月4日招待有り
LER distribution measurement using HHCF-based noise correction

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

SPIE Advanced Lithography + Patterning 2025 2025年2月24日
測長型原子間力顕微鏡によるナノ構造の寸法・形状計測

木津良祐, 三隅伊知子, 平井亜紀子, 権太聡

2024年度精密工学会秋季大会学術講演会 2024年9月6日招待有り
Evaluation of angular errors in a piezo flexure scanner for metrological atomic force microscopy

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi

International Conference on Precision Engineering and Sustainable Manufacturing (PRESM) 2024 2024年7月8日招待有り
SEM観察に伴うEUVレジスト収縮変形のAFM計測評価

木津良祐, 熊谷和博, 三隅伊知子, 平井亜紀子, 権太聡

NGLワークショップ2024 2024年7月4日招待有り
半導体微細パターンのラフネス形状計測とノイズを含むデータの解析

木津良祐

第53回情報計測オンラインセミナー 2024年3月9日招待有り
AFM observation of EUV photoresist shrinkage due to electron-beam exposure

Ryosuke Kizu, Kazuhiro Kumagai, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

SPIE Advanced Lithography + Patterning 2024 2024年2月29日
Analysis of self-affine roughness profiles with white noise for line edge roughness measurements

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda, Satoru Takahashi

NanoScale 2023 (13th Seminar on Quantitative Microscopy (QM) and 9th Seminar on Nanoscale Calibration, Standards and Methods) 2023年10月10日
傾斜探針型測長原子間力顕微鏡によるレジスト収縮の計測

木津良祐, 三隅伊知子, 平井亜紀子, 権太聡

NGLワークショップ2023 2023年7月7日招待有り
Photoresist shrinkage observation by a metrological tilting-AFM

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

SPIE Advanced Lithography + Patterning 2023 2023年2月28日
High-resolution sidewall observation and LER measurement of a photoresist pattern by a metrological tilting-AFM

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

SPIE Advanced Lithography + Patterning 2022 2022年5月23日
ラインエッジラフネスが制御されたシリコンラインパターンの作製と評価

木津良祐, 三隅伊知子, 平井亜紀子, 権太聡, 高橋哲

2022年度精密工学会春季大会学術講演会 2022年3月17日
Extension of the probe-tip error evaluation for areal surface roughness measurements using metrological AFM

Ichiko Misumi, Ryosuke Kizu, Kentaro Sugawara, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

XXIII IMEKO World Congress 2021年9月1日
傾斜探針型測長原子間力顕微鏡によるラインエッジラフネスの参照計測

木津良祐, 三隅伊知子, 平井亜紀子, 権太聡

NGLワークショップ2021 2021年7月9日招待有り
Evaluating SEM-based LER metrology using a metrological tilting-AFM

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

SPIE Advanced Lithography 2021 2021年2月22日
Comparison of SEM and AFM performances for LER reference metrology

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

SPIE Advanced Lithography 2020 2020年2月25日
Surface roughness measurement using metrological AFM

Ichiko Misumi, Ryosuke Kizu, Kentaro Sugawara, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

NanoScale 2019 (12th Seminar on Quantitative Microscopy (QM) and 8th Seminar on Nanoscale Calibration, Standards and Methods) 2019年10月15日
Reference-scan-based correction method of nonlinear drift of atomic force microscopy in sub-nanometer precision

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

NanoScale 2019 (12th Seminar on Quantitative Microscopy (QM) and 8th Seminar on Nanoscale Calibration, Standards and Methods) 2019年10月15日
Accurate vertical sidewall measurement by a metrological tilting-AFM for reference metrology of line edge roughness

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

SPIE Advanced Lithography 2019 2019年2月27日

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共同研究・競争的資金等の研究課題

測長型走査トンネル顕微鏡による結晶格子間隔の絶対計測

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2024年4月 - 2029年3月

木津良祐, 堀泰明
透過電子顕微鏡によるsub-nm絶対測長を実現する技術の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2025年4月 - 2029年3月

小林慶太, 木津良祐
スケール解析に基づくノイズ補正によるラインエッジラフネス分布計測技術の開発

公益財団法人三豊科学技術振興協会研究助成 2023年10月 - 2024年9月
超広視野高精度測長を実現する透過電子顕微鏡のためのマルチスケール撮像結合法の開発

池谷科学技術振興財団単年度研究助成 2023年4月 - 2024年3月

小林慶太, 木津良祐
測長原子間力顕微鏡を介した格子面間隔の透過電子顕微鏡によるSIトレーサブルな測長

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2020年4月 - 2023年3月

小林慶太, 木津良祐
半導体ナノ構造の超精密形状計測：sub-nm精度の粗さ計測

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究 2019年4月 - 2023年3月

木津良祐
AFMによる線幅計測の不確かさ低減のための探針形状の絶対評価技術開発

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 2016年4月 - 2019年3月

木津良祐

木津良祐

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MISC

講演・口頭発表等

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