論文

査読有り
2014年7月

Study on durability assessment of mold-release agents for ultraviolet nanoimprint lithography

Proceedings of The 15th International Conference on Precision Engineering (2014)
  • Kota Funakoshi
    • ,
  • Ryo Tsuboi
    • ,
  • Ian Thomas Clark
    • ,
  • Toshiro Okawa
    • ,
  • Jun Taniguchi
    • ,
  • Shinya Sasaki
開始ページ
812
終了ページ
815
記述言語
英語
掲載種別
エクスポート
BibTeX RIS
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