2011 Development of thin film resistance type Hydrogen sensor 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料 片山文哉, 堺健司, 紀和利彦, 塚田啓二 Volume MSS-11 Number 1-7.9-12.14-21 Link information J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/en/detail?JGLOBAL_ID=201102270733187627 ID information J-Global ID : 201102270733187627 Export BibTeX RIS