TiAl基合金の耐酸化性および機械加工後の機械的強度を改善することを目的として、切削加工したTiAl基合金に対して,Alコーティングと拡散処理を組み合わせたAl拡散処理を行った。拡散処理中の金属間化合物層の生成過程を調べ,加工欠陥解消のための最適条件を検討した.さらに,Al拡散コーティングの高温酸化雰囲気中での耐酸化性を明らかにし,本処理がTiAl基合金の高温特性を改善に有効であることを示した.