特許権 半導体装置およびその製造方法 株式会社日立製作所 増田 弘生, 佐藤 久子, 常野 克己, 英 善明, 石橋 亨介 出願番号 特願平10-349457 出願日 1998年12月9日 公開番号 特開2000-174138 公開日 2000年6月23日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200903076639156186 ID情報 J-Global ID : 200903076639156186