特許権 半導体集積回路装置の評価方法 株式会社日立製作所 佐藤 久子, 増田 弘生, 中村 高秀, 常野 克己, 青山 仁子, 国友 久彰 出願番号 特願平8-039174 出願日 1996年2月27日 公開番号 特開平9-232248 公開日 1997年9月5日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200903088748317775 ID情報 J-Global ID : 200903088748317775
