須川成利 (Shigetoshi Sugawa) - マイポータル

基本情報

所属: 東北大学未来科学技術共同研究センター教授 (東北大学リサーチプロフェッサー、名誉教授)

学位: 博士(工学)(1996年3月東北大学)
修士(理学)(1982年3月東京工業大学)

J-GLOBAL ID: 201801001601426360
researchmap会員ID: 7000022523

外部リンク: https://www.fff.niche.tohoku.ac.jp/

研究キーワード

研究分野

ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 電子デバイス、電子機器 / 固体電子工学

経歴

1999年9月 - 現在

東北大学
1982年4月 - 1999年8月

キヤノン株式会社

学歴

1995年4月 - 1996年3月

東北大学, 大学院工学研究科, 電子工学専攻博士後期3年の課程
1980年4月 - 1982年3月

東京工業大学, 大学院理工学研究科, 物理学専攻
1978年4月 - 1982年3月

東京工業大学, 理学部, 物理学科

受賞

2025年6月

The 2025 IISS Pioneering Achievement Award, High dynamic range charge overflow pixel technologies, International Image Sensor Society（IISS）

Shigetopshi Sugawa
2024年5月

丹羽高柳賞功績賞, 映像情報メディア学会

須川成利
2022年5月

第61回(2022年度)丹羽高柳賞論文賞, High Accuracy High Spatial Resolution and Real-Time CMOS Proximity Capacitance Image Sensor Technology and its Applications, 映像情報メディア学会

Rihito Kuroda, Masahiro Yamamoto, Yuki Sugama, Yoshiaki Watanabe, Manabu Suzuki, Tetsuya Goto, Shigetoshi Sugawa, Toshiro Yasuda, Shinichi Murakami, Yayoi Yokomichi, Hiroshi Hamori
2022年5月

第47回(令和4年度)井上春成賞, 高速度ビデオカメラの開発, 国立研究開発法人科学技術振興機構

須川成利, 株式会社島津製作所
2016年11月

The 2016 nac High Speed Imaging Award, The development of Ultra High Speed CMOS Image Sensor, International Congress on High Speed Imaging and Photonics

Shigetoshi Sugawa
2015年6月

全国発明表彰日本経済団体連合会会長発明賞, 公益社団法人発明協会

小泉徹, 光地哲伸, 米田智也, 須川成利
2015年6月

2015 International Image Sensor Workshop Best Poster Award, Program Committee, 2015 International Image Sensor Workshop

Fumiaki Kusuhara, Shunichi Wakashima, Satoshi Nasuno, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa
2015年5月

映像情報メディア学会フェロー称号授与, 映像情報メディア学会

須川成利
2014年12月

映像情報メディア学会第17回・平成26年度優秀研究発表賞, 20Mfpsの撮像速度を有する超高速CMOSイメージセンサの画素構造, 映像情報メディア学会

須川成利
2009年5月

丹羽高柳賞論文賞, 局所境界要素法によるイメージセンサの3次元波動光学シミュレーション, 映像情報メディア学会

須川成利
2008年12月

優秀研究発表賞, 大規模アレイTEGを用いた画素ソースフォロア相当のトランジスタのランダム・テレグラフ・シグナル・ノイズの統計的解析, 映像情報メディア学会

須川成利
2008年7月

生産システム部門技術業績賞, 群企画製品のモジュール化設計をベースとした生産システムの開発, 日本機械学会

須川成利
1991年5月

特許審査委員会賞, 光電変換装置開発, キヤノン株式会社

須川成利
1990年5月

社長賞, 固定パターンノイズを低減させた光電変換装置開発, キヤノン株式会社

須川成利
1988年5月

特別社長賞, BASISオートフォーカスセンサ開発, キヤノン株式会社

須川成利

論文

660

A High SNR Global Shutter CMOS Image Sensor Technology for High Precision Absorption Imaging Applications

Tetsu Oikawa, Rihito Kuroda, Aoi Hamaya, Yoshinobu Shiba, Takafumi Inada, Yushi Sakai, Yasuyuki Shirai, Shigetoshi Sugawa

ITE Transactions on Media Technology and Applications 12(2) 167-174 2024年4月
Threshold voltage uniformity improvement by introducing charge injection tuning for low-temperature poly-Si thin film transistors with metal/oxide/nitride/oxide/silicon structure

Tetsuya Goto, Tomoyuki Suwa, Keita Katayama, Shu Nishida, Hiroshi Ikenoue, Shigetoshi Sugawa

Japanese Journal of Applied Physics 63(2) 02SP51 2024年1月17日査読有り
Nanoshell Formation at the Electrically Charged Gas–Water Interface of Collapsing Microbubbles: Insights from Atomic Force Microscopy Imaging

Masayoshi Takahashi, Yasuyuki Shirai, Shigetoshi Sugawa

The Journal of Physical Chemistry Letters 15(1) 220-225 2024年1月11日査読有り
Impact of Bulk Nanobubble Water on a TiO<inf>2</inf> Solid Surface: A Case Study for Medical Implants

Masayoshi Takahashi, Masahiro Nakazawa, Takahiro Nishimoto, Mitsuyuki Odajima, Yasuyuki Shirai, Shigetoshi Sugawa

Langmuir 2024年
Visualization and Analysis of Temporal and Steady-State Gas Concentration in Process Chamber Using 70-dB SNR 1,000 fps Absorption Imaging System

Y. Sakai, Y. Shiba, T. Inada, T. Goto, T. Suwa, T. Oikawa, A. Hamaya, A. Sutoh, T. Morimoto, Y. Shirai …

IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 36(4) 515-519 2023年11月査読有り
Mineralization of Poly(vinyl alcohol) by Ozone Microbubbles under a Wide Range of pH Conditions

Masayoshi Takahashi, Ryo Nakatsuka, Shuzo Kutsuna, Yasuyuki Shirai, Shigetoshi Sugawa

Langmuir 39 15215-15221 2023年10月18日査読有り
Threshold Voltage Control of LTPS TFTs with MONOS Structure

Tetsuya Goto, Tomoyuki Suwa, Keita Katayama, Shu Nishida, Hiroshi, Ikenoue, Shigetoshi Sugawa

2023 International Conference on Solid State Devices and Materials E-7-02 245-246 2023年9月査読有り
Characterization of MONOS-Type Polycrystalline Silicon Thin Film Transistors

Tetsuya Goto, Tomoyuki Suwa, Keita Katayama, Shu Nishida, Hiroshi Ikenoue, Shigetoshi Sugawa

2023 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of advanced Semiconductor Devices (AWAD2023) p-4 2023年7月査読有り
Accelerated germination of aged recalcitrant seeds by K⁺-rich bulk oxygen nanobubbles

Mijung Kim, Akio Shoji, Toshiaki Kobayashi, Yasuyuki Shirai, Shigetoshi Sugawa, Masayoshi Takahashi

Scientific Reports 13(1) 2023年2月
In Situ Measurement and Analysis of Low Pressure Gas Concentration Distribution Using 70-dB SNR 1,000 Frame-per-second Absorption Imaging System

Yushi Sakai, Yoshinobu Shiba, Takafumi Inada, Tetsuya Goto, Tomoyuki Suwa, Akihito Sutoh, Tatsuo Morimoto, Yasuyuki Shirai, Shigetoshi Sugawa, Tetsu Oikawa …

International Symposium on Semiconductor Manufacturing 2022 PM-41 2022年12月査読有り
Effect of charge-up of surfaces of sintered Y2O3 and yttrium oxyfluoride on their erosion rates due to ion bombardment

Tetsuya Goto, Yoshinobu Shiba, Akinobu Teramoto, Yukio Kishi, Shigetoshi Sugawa

Journal of Vacuum Science & Technology B 40(6) 062205-1-062205-7 2022年11月査読有り
High Resolution and High Speed Inspection Equipment for Mini-LED Substrates

Toshiro Yasuda, Kazuhisa Kobayashi, Yuichi Yamamoto, Hiroshi Hamori, Wei, Cheng, Ryan Ge, Shigetoshi Sugawa

International Conference on Display Technology, ICDT 2022 53(S1) 363-366 2022年7月査読有り最終著者
Silicon Nitride Film Formations Using Magnetic-Mirror Confined Plasma System Developed for Minimal Fab System

Tetsuya Goto, Thai Quoc Cuong, Seiji Kobayashi, Yuki Yabuta, Shigetoshi, Sugawa Shiro Hara

2022 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of advanced Semiconductor Devices (AWAD) 2022年7月査読有り
Adsorption and surface reaction of isopropyl alcohol on SiO2 surfaces

Takezo Mawaki, Akinobu Teramoto, Katsutoshi Ishii, Yoshinobu Shiba, Rihito Kuroda, Tomoyuki Suwa, Shuji Azumo, Akira Shimizu, Kota Umezawa, Yasuyuki Shirai …

Journal of Vacuum Science & Technology A 40(5) 053201-1-053201-8 2022年7月査読有り
A 70-dB SNR High-Speed Global Shutter CMOS Image Sensor for in Situ Fluid Concentration Distribution Measurements

Tetsu Oikawa, Rihito Kuroda, Keigo Takahashi, Yoshinobu Shiba, Yasuyuki Fujihara, Hiroya Shike, Maasa Murata, Chia-Chi Kuo, Yhang Ricardo, Sipauba Carvalho …

IEEE Transactions on Electron Devices 69(6) 2965-2972 2022年6月査読有り
Two High-Precision Proximity Capacitance CMOS Image Sensors with Large Format and High Resolution.

Yuki Sugama, Yoshiaki Watanabe, Rihito Kuroda, Masahiro Yamamoto, Tetsuya Goto, Toshiro Yasuda, Hiroshi Hamori, Naoya Kuriyama, Shigetoshi Sugawa

Sensors 22(7) 2770-2770 2022年4月査読有り
Array of GaN micro-LED chips and monocrystal Si CMOS pixel circuit chips mounted on flexible substrate

Tetsuya Goto, Takeshi Okuno, Yoshikazu Suzuki, Koichi Kajiyama, Yoshihiko Muramoto, Shigetoshi Sugawa

The 28th International Display Workshops FMC2-4L 2021年12月査読有り
Sub-aF Detection Accuracy CMOS Proximity Capacitance Image Sensors for Inspection, Authentification and More

Rihito Kuroda, Yuki Sugama, Yoshiaki Watanabe, Tetsuya Goto, Toshiro Yasuda, Shinichi Murakami, Hiroshi Hamori, Shigetoshi Sugawa

The 28th International Display Workshops INP5-1 2021年12月査読有り
High Resolution Array Tester for Flat Panel Display Using Proximity Capacitance Image Sensor

Toshiro Yasuda, Kazuhisa Kobayashi, Yuichi Yamamoto, Hiroshi Hamori, Akinobu Teramoto, Rihito Kuroda, Shigetoshi Sugawa

The 28th International Display Workshops FMC7/AIS9-4 2021年12月査読有り
CMOSイメージセンサの感度・飽和・撮影速度・分光感度性能の追究

須川成利, 黒田理人

映像情報メディア学会誌 75(6) 729-733 2021年11月査読有り

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MISC

271

高 SNR・高速グローバルシャッタ CMOS イメージセンサによるリアルタイム流体濃度分布計測

間脇武蔵, 村冨孝輔, 荻野晃汰, 酒井勇志, 稲田貴郁, 橋本圭市, 森本達郎, 諏訪智之, 白井泰雪, 須川成利 …

第 36 回マイクロエレクトロニクス研究会プロシーディング 29-34 2024年11月
高速・高 SNR 吸光イメージングシステムによる真空チャンバ内のガス濃度分布計測および解析

酒井勇志, 稲田貴郁, 間脇武蔵, 諏訪智之, 森本達郎, 白井泰雪, 須川成利, 黒田理人

電子情報通信学会技術研究報告, シリコン材料・デバイス研究会 124(222) 10-3 2024年10月
Impedance Measurement Platform Technology Toward Statistical Evaluation of Semiconductor Devices（半導体素子の統計的評価に向けたインピーダンス計測プラットフォーム技術)

Koga Saito, Tatsuhiko Suzuki, Hidemi Mitsuda, Takezo Mawaki, Tomoyuki, Suwa, Akinobu Teramoto, Shigetoshi Sugawa, Rihito Kuroda

第35回マイクロエレクトロニクス研究会プロシーディング 33-39 2023年11月
Measurement of TEMAZ concentration in process chamber by UV absorption method（紫外光吸光法によるプロセスチャンバー内のTEMAZ濃度計測)

Takafumi Inada, Yushi Sakai, Akihito Suto, Tatsuo Morimoto, Tomoyuki Suwa, Yasuyuki Shirai, Shigetoshi Sugawa, Rihito Kuroda

第35回マイクロエレクトロニクス研究会プロシーディング 29-31 2023年11月
抵抗計測プラットフォームを用いた HfOx 膜抵抗変化の統計的計測

光田薫未, 鈴木達彦, 齊藤宏河, 間脇武蔵, 須川成利, 黒田理人

第 84 回応用物理学会秋季学術講演会 23a-A303-4 12-245 2023年9月
電流計測プラットフォームを用いた高容量密度トレンチキャパシタのトラップ特性に関する統計的計測

鈴木達彦, 齊藤宏河, 光田薫未, 間脇武蔵, 須川成利, 黒田理人

第 84 回応用物理学会秋季学術講演会 23a-A303-3 12-244 2023年9月
インピーダンス計測プラットフォーム技術を用いた機能性薄膜に関する電気的特性の統計的計測

齊藤宏河, 鈴木達彦, 光田薫未, 間脇武蔵, 諏訪智之, 寺本章伸, 須川成利, 黒田理人

第 84 回応用物理学会秋季学術講演会 23a-A303-1 12-242 2023年9月招待有り
MONOS 型低温ポリシリコン TFT におけるしきい値電圧制御

後藤哲也, 諏訪智之, 片山慶太, 西田脩, 池上浩, 須川成利

第 84 回応用物理学会秋季学術講演会 20p-B201-7 12-088 2023年9月
イメージセンサ技術を究める

須川成利

東北大学電通談話会記録 91(2) 11-27 2023年3月
MONOS 型ポリシリコン TFT でのしきい値電圧制御に関する検討

後藤哲也, 諏訪智之, 須川成利

第 70 回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集 (15p-B410-5) 12-016 2023年3月
ランダムテレグラフノイズのMOSトランジスタ構造・動作条件依存性の統計的解析

間脇武蔵, 黒田理人, 秋元瞭, 須川成利

第28回電子デバイス界面テクノロジー研究会 141-145 2023年2月
インピーダンス計測プラットフォーム技術を用いたSiN膜中トラップ特性の統計的計測

齊藤宏河, 鈴木達彦, 光田薫未, 間脇武蔵, 諏訪智之, 寺本章伸, 須川成利, 黒田理人

第28回電子デバイス界面テクノロジー研究会 89-94 2023年2月
トリシランを用いたミニマルファブ向けポリシリコンゲート電極のCVD 成膜に関する検討

後藤哲也, 小林誠二, タイクオッククオン, 薮田勇気, 須川成利, 原史朗

第83回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集 20p-A406-8 2022年9月
近接容量センサを用いた高精度微小容量差計測

渡部吉祥, 須釜侑希, 志波良信, 黒田理人, 白井泰雪, 須川成利

映像情報メディア学会技術報告 46(23) 71-76 2022年8月
流体濃度分布その場計測へ向けた1000 fps高SNRグローバルシャッタCMOSイメージセンサ

及川哲, 黒田理人, 髙橋圭吾, 志波良信, 藤原康行, 四家寛也, 村田真麻, 郭家祺, Yhang Ricardo, Sipauba Carvalho …

映像情報メディア学会技術報告 45(30) 17-20 2021年10月
大判12µm画素と高解像度2.8µm画素の高精度近接容量CMOSイメージセンサ

須釜侑希, 渡部吉祥, 黒田理人, 山本将大, 後藤哲也, 安田俊朗, 村上真一, 羽森寛, 栗山尚也, 須川成利

映像情報メディア学会技術報告 45(30) 13-16 2021年10月
電流計測プラットフォームを応用したSiN膜中トラップ放電電流の統計的計測

齊藤宏河, 鈴木勇人, 朴賢雨, 黒田理人, 寺本章伸, 諏訪智之, 須川成利

電子情報通信学会技術研究報告 121(212) 23-26 2021年10月
トランジスタ構造・動作領域・キャリア走行方向によるRTN挙動の統計的解析

秋元暸, 黒田理人, 黒田理人, 間脇武蔵, 須川成利

電子情報通信学会技術研究報告(Web) 121(212(SDM2021 44-52)) 27-32 2021年10月
ミニマルファブ用ミラー磁場閉じ込めプラズマCVD装置によるジクロロシランガスを用いたシリコン窒化膜形成

後藤哲也, 小林誠二, タイ, クオッククオン, 薮田勇気, 須川成利, 原史朗

第82回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集 12a-N323-6 2021年9月
サブaFの精度を有する高解像度・リアルタイム近接容量CMOSイメージセンサの開発

黒田理人, 須釜侑希, 渡部吉祥, 後藤哲也, 須川成利

映像情報メディア学会技術報告・情報センシング研究会 45(21) 1-4 2021年8月

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書籍等出版物

The Micro-World Observed by Ultra High-Speed Cameras: We See What You Don’t See

Shigetoshi Sugawa (担当:共著, 範囲:p.103-P.124)

Springer 2017年9月
写真の辞典

須川成利 (担当:共著, 範囲:67頁-79頁)

日本写真学会 2014年9月
画像入力とカメラ

寺西信一, 須川成利 (担当:共著, 範囲:第3章93-101ページ)

オーム社 2012年6月25日
知識ベース

原島博 (担当:編者(編著者), 範囲:8群4編1章7節ワイドダイナミックレンジセンサ)

電子情報通信学会 2011年3月16日
デジタルカメラの最先端技術

竹村裕夫, 須川成利 (担当:共著, 範囲:第1章第5節 140頁～150頁)

株式会社技術情報協会 2004年10月29日
エネルギーを考える

斉藤浩海, 須川成利 (担当:共著, 範囲:60頁～68頁)

東北大学出版会 2004年4月
新しい半導体製造プロセスと材料

大見忠弘, 須川成利 (担当:共著, 範囲:214頁～227頁)

株式会社シーエムシー 2000年5月31日
家庭用ネットワークの周辺機器技術とセキュリティ

羽島光俊, 須川成利他 (担当:共著, 範囲:45頁～58頁)

ミマツコーポレーション 2000年5月