産業財産権

特許権

半導体装置の製造方法

富士通セミコンダクター株式会社

大越克明
西川昌利
島宗洋介

出願番号: 特願2010-199226
出願日: 2010年9月6日
公開番号: 特開2012-059783
公開日: 2012年3月22日
特許番号/登録番号: 特許第5614184号
登録日
発行日: 2014年9月19日

リンク情報

J-GLOBAL: https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201403045995489464
URL: http://jglobal.jst.go.jp/public/201403045995489464

ID情報

J-Global ID : 201403045995489464

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