産業財産権

特許権

半導体装置の製造方法

富士通セミコンダクター株式会社

福田真大
島宗洋介
加勢由香

出願番号: 特願2009-034259
出願日: 2009年2月17日
公開番号: 特開2010-192609
公開日: 2010年9月2日
特許番号/登録番号: 特許第5278022号
登録日
発行日: 2013年5月31日

リンク情報

J-GLOBAL: https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201303064946912227
URL: http://jglobal.jst.go.jp/public/201303064946912227

ID情報

J-Global ID : 201303064946912227

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