2000年12月
"PH3とSiH4の交互供給によるSiへの原子層ドーピング"
- 巻
- 380
- 号
- 1-2
- 開始ページ
- 134
- 終了ページ
- 136
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文(学術雑誌)
- DOI
- 10.1016/S0040-6090(00)01487-5
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.1016/S0040-6090(00)01487-5
- ISSN : 0040-6090
- Web of Science ID : WOS:000166393700036