論文

査読有り 筆頭著者
2000年12月

"PH3とSiH4の交互供給によるSiへの原子層ドーピング"


380
1-2
開始ページ
134
終了ページ
136
記述言語
英語
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
DOI
10.1016/S0040-6090(00)01487-5

リンク情報
DOI
https://doi.org/10.1016/S0040-6090(00)01487-5
Web of Science
https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=JSTA_CEL&SrcApp=J_Gate_JST&DestLinkType=FullRecord&KeyUT=WOS:000166393700036&DestApp=WOS_CPL
ID情報
  • DOI : 10.1016/S0040-6090(00)01487-5
  • ISSN : 0040-6090
  • Web of Science ID : WOS:000166393700036

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