2018年8月
Oxygen-free palladium/titanium coating, a novel nonevaporable getter coating with an activation temperature of 133C
Journal of Vacuum Science & Technology A
- ,
- ,
- ,
- ,
- ,
- ,
- ,
- ,
- ,
- 巻
- 36
- 号
- 5
- 開始ページ
- 051601(1
- 終了ページ
- 8)
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- DOI
- 10.1116/1.5037023
- 出版者・発行元
- American Vacuum Society
- リンク情報
- ID情報
-
- DOI : 10.1116/1.5037023