論文

2018年4月

Non-Evaporable Getter (NEG) Coating Using Titanium and Palladium Vacuum Sublimation

Vacuum and Surface Science
  • 宮澤徹也
  • ,
  • 飛嶋健佑
  • ,
  • 加藤博雄
  • ,
  • 栗原真志
  • ,
  • 大野真也
  • ,
  • 菊地貴司
  • ,
  • 間瀬一彦

61
4
開始ページ
227
終了ページ
235
記述言語
英語
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
DOI
10.1380/vss.61.227
出版者・発行元
The Japan Society of Vacuum and Surface Science

リンク情報
DOI
https://doi.org/10.1380/vss.61.227
CiNii Articles
http://ci.nii.ac.jp/naid/130006688239
URL
https://www.jstage.jst.go.jp/article/vss/61/4/61_20180075/_article
ID情報
  • DOI : 10.1380/vss.61.227
  • ISSN : 2433-5835
  • CiNii Articles ID : 130006688239

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