2018年4月
Non-Evaporable Getter (NEG) Coating Using Titanium and Palladium Vacuum Sublimation
Vacuum and Surface Science
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- 巻
- 61
- 号
- 4
- 開始ページ
- 227
- 終了ページ
- 235
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文(学術雑誌)
- DOI
- 10.1380/vss.61.227
- 出版者・発行元
- The Japan Society of Vacuum and Surface Science
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.1380/vss.61.227
- ISSN : 2433-5835
- CiNii Articles ID : 130006688239