特許権 半導体製造方法 株式会社クボタ 井川 聖史, 山本 正美, 池田 博一, 平塚 哉, 冷水 佐壽, 下村 哲 出願番号 特願2000-066298 出願日 2000年3月10日 公開番号 特開2001-257162 公開日 2001年9月21日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200903034351839632URLhttp://jglobal.jst.go.jp/public/200903034351839632 ID情報 J-Global ID : 200903034351839632