特許権
GaAs/AlGaAs薄膜の成長方法
冷水 佐壽, 下村 哲, 株式会社クボタ
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- 出願番号
- 特願平6-202007
- 出願日
- 1994年8月26日
- 公開番号
- 特開平7-147235
- 公開日
- 1995年6月6日
- 特許番号/登録番号
- 特許第3027688号
- 登録日
- 発行日
- 2000年1月28日
- リンク情報
- ID情報
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- J-Global ID : 201103057040617332