MISC

2017年12月

Ge薄膜のFLA結晶化におけるキャップ層の効果

(一社)電子情報通信学会信学技報
  • 吉岡尚輝
    • ,
  • 秋田佳輝
    • ,
  • 部家彰
    • ,
  • 松尾直人
    • ,
  • 小濱和之
    • ,
  • 伊藤和博
巻
117
号
373
開始ページ
77
終了ページ
80
記述言語
日本語
掲載種別
研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）
エクスポート
BibTeX RIS
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