2017年4月 - 2018年3月 真空排気技術の革新的展開:長寿命低活性化温度非蒸発ゲッターコーティングの開発 平成29 年度TIA 連携プログラム探索事業「かけはし」 間瀬 一彦 資金種別 競争的資金