2021年11月10日 触診用MEMS触覚センサの接触部改良による圧力低減 第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 門田 秀人, 小河原 周, 寒川 雅之, 安部 隆 開催年月日 2021年11月9日 - 2021年11月11日 記述言語 日本語 会議種別 ポスター発表 主催者 電気学会センサ・マイクロマシン部門 開催地 オンライン開催