2003年3月27日
SPring-8高輝度・高強度放射光を用いた弗化物・酸化物のエッチング
第50回応用物理学関係連合講演会
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- 記述言語
- 日本語
- 会議種別
- 口頭発表（一般）
- 主催者
- 応用物理学会
- 開催地
- 神奈川大学
放射光施設Spring-8の高輝度・高強度の放射光を用いフッ化物および酸化物のエッチングを行った。SiO2については表面の放射光照射部でのみ効果的なエッチングが起きた。MgF2、CaF2、BaF2のフッ化物では酸化物に比べ非常に高速でエッチングされることが分かった。