2010年3月17日
NiCrゲージ薄膜を用いたエラストマ埋込型触覚センサの出力ドリフト低減と高感度化
平成22年電気学会全国大会
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- 記述言語
- 日本語
- 会議種別
- 口頭発表（一般）
- 主催者
- 電気学会
- 開催地
- 明治大学
組成比を最適化し抵抗温度係数を小さくしたNiCr合金薄膜を用いて、マイクロカンチレバー型触覚センサの抵抗値のドリフト・ノイズを低減し、出力の安定性・再現性を高めた。これにより5kPa以下の誤差で力ベクトルを検知することが可能となった。