2009年7月24日
集積化触覚センサ用NiCrゲージ薄膜の抵抗温度係数の低減
電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会
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- 記述言語
- 日本語
- 会議種別
- 口頭発表（一般）
- 主催者
- 電気学会 センサ・マイクロマシン部門
- 開催地
- 東京工科大学
触覚センサの出力安定性はスパッタリングで成膜したNiCrを用いることで大きく改善できたが、さらなる安定化を目指してNiCrの組成比をコントロールすることで抵抗温度係数の低減を試みた。NiとCrのターゲットの面積比を変えることで様々な組成の薄膜を作製し、温度特性や結晶性等を調べた結果、Crの量が40～60%のときに温度係数が小さくなることが分かった。