2013年11月6日 デスクトップ型DRIE装置を用いたチタニウム製マイクロ構造体の作製 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 山田 周史, 加勢 彩乃, 人母 岳, 寒川 雅之, 安部 隆 記述言語 日本語 会議種別 ポスター発表 主催者 電気学会センサ・マイクロマシン部門 開催地 仙台 リンク情報 URLhttp://www.sensorsymposium.org/
