本論文では水晶振動子微小天秤(QCM)法を用いた小型熱重量分析センサを提案した。火星の土壌サンプル中の物理吸着水量や土壌成分を計測するため、QCMに集積化したマイクロヒータの加熱電極形状を最適化した。次に、真空環境中におけるQCMの加熱特性を評価した。その結果、電極の温度は300℃まで加熱された。最適化されたQCMは低消費電力で優れた加熱特性を持つことを見出した。