集積化多軸触覚センサ用Cr/Si積層カンチレバーを表面マイクロマシニングプロセスで作製した。様々な平面形状の中から矩形および半円形のものが制御性良く上反り立体形状を形成できた。カンチレバーの最大高さは有限要素法による解析結果とよく一致した。この結果より、有限要素解析はCr/Si積層カンチレバーの精密な立体形状を得るための各層の厚みやサイズを最適化するのに有効であると分かった。