ロボット用多軸触覚センサを試作し評価した。有限要素法による解析に基づき、力検知用のSiピエゾ抵抗を設けたCr/Siカンチレバー構造を最適な傾斜形状に作製し、これをエラストマ中に埋め込むことでセンサ素子を完成した。作製したセンサ表面に垂直力と剪断力を印加したところ、どちらに対しても感度が得られ、多軸触覚センサが実現可能であることを示した。