2003年4月
Characterization of ZrO2 and PrOx Thin Films for High-k Gate Insulator Prepared by Pulsed Laser Deposition
Journal of Korean Physical Society
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プレプリント・著者最終稿
回数 : 96
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- 巻
- 42
- 号
- 開始ページ
- 1357
- 終了ページ
- 1361
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文(学術雑誌)
- DOI
- 10.3938/jkps.42.1357
レーザアブレーション法で成膜したZrO2、PrOx薄膜の微細構造と電気特性を評価した。400℃以下で成膜したZrO2薄膜は結晶化しない。漏れ電流は成膜温度を上げるに伴い減少したが、静電容量特性から求めたSiO2換算膜厚は大きくなった。400℃で成膜した薄膜のO2中熱処理により漏れ電流は減少したが換算膜厚は増えた。O2ラジカル処理はZrO2の漏れ電流を減らすのに有効であったが、PrOxでは改善効果はわずかであった。
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.3938/jkps.42.1357
- ISSN : 1976-8524
- J-Global ID : 201102254419607381