都甲将 (Susumu Toko) - マイポータル

基本情報

所属: 大阪大学接合科学研究所助教

J-GLOBAL ID: 201901000341259342
researchmap会員ID: B000380147

研究キーワード

プラズマ

研究分野

エネルギー / プラズマ科学 /

受賞

2022年11月

第20回(2022年秋季) 応用物理学会 Poster Award, 応用物理学会

竹中弘祐, 都甲将, 節原裕一

論文

Direct bonding of stainless steel and PEEK using non-thermal atmospheric pressure plasma-assisted joining technology

Kosuke Takenaka, Akiya Jinda, Soutaro Nakamoto, Susumu Toko, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara

Journal of Manufacturing Processes 105 276-281 2023年11月
Analysis of residual oxygen during a-IGZO thin film formation by plasma-assisted reactive sputtering using a stable isotope

Kosuke Takenaka, Masashi Endo, Hiroyuki Hirayama, Susumu Toko, Giichiro Uchida, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara

Vacuum 215 112227-112227 2023年9月査読有り
Improving the efficiency of Sabatier reaction through H₂O removal with low-pressure plasma catalysis

Taiki Hasegawa, Susumu Toko, Kunihiro Kamataki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

Japanese Journal of Applied Physics 62(SL) SL1028-SL1028 2023年8月16日査読有り
Contribution of active species generated in plasma to CO₂ methanation

Susumu Toko, Taiki Hasegawa, Takamasa Okumura, Kunihiro Kamataki, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara

Japanese Journal of Applied Physics 62(SL) SL1023-SL1023 2023年7月3日査読有り
Analysis of oxygen-based species introduced during plasma assisted reactive processing of a-IGZO films

Kosuke Takenaka, Hiroyuki Hirayama, Masashi Endo, Susumu Toko, Giichiro Uchida, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara

Japanese Journal of Applied Physics 62(SL) SL1018-SL1018 2023年6月26日
Optical emission spectroscopy study in CO₂ methanation with plasma

Susumu Toko, Taiki Hasegawa, Takamasa Okumura, Kunihiro Kamataki, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara

Japanese Journal of Applied Physics 62(SI) SI1008-SI1008 2023年4月19日査読有り
Plasma processing technique by combination of plasma-assisted reactive sputtering and plasma annealing for uniform electrical characteristics of InGaZnO thin film transistors formed on large-area substrates

Kosuke Takenaka, Tomoki Yoshitani, Masashi Endo, Hiroyuki Hirayama, Susumu Toko, Giichiro Uchida, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara

Japanese Journal of Applied Physics 62 SI1005/1-SI1005/9 2023年3月査読有り
Effect of gas flow rate and discharge volume on CO2 methanation with plasma catalysis

Susumu Toko, Masashi Ideguchi, Taiki Haseagawa, Takamasa Okumura, Kunihiro Kamataki, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara

Japanese Journal of Applied Physics 61 SI1002/1-SI1002/6 2022年4月査読有り
Development of a non-thermal atmospheric pressure plasma-assisted technology for the direct joining of metals with dissimilar materials

Kosuke Takenaka, Rikuro Machida, Tetsuya Bono, Akiya Jinda, Susumu Toko, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara

Journal of Manufacturing Processes 75 664-669 2022年1月査読有り
Spatiotemporal optical emission spectroscopy to estimate electron density and temperature of plasmas in solution

Kenichi Inoue, Shion Takahashi, Noritaka Sakakibara, Susumu Toko, Tsuyohito Ito, Kazuo Terashima

Journal of Physics D: Applied Physics 53(23) 235202-235202 2020年4月3日
Growing low-temperature, high-quality silicon-dioxide films by neutral-beam enhanced atomic-layer deposition

Hua-Hsuan Chen, Susumu Toko, Daisuke Ohori, Takuya Ozaki, Mitsuya Utsuno, Tomohiro Kubota, Toshihisa Nozawa, Seiji Samukawa

Journal of Physics D: Applied Physics 53(1) 015204-015204 2020年1月2日査読有り
Low-Pressure Methanation of CO₂ Using a Plasma–Catalyst System

Susumu Toko, Satoshi Tanida, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

Science of Advanced Materials 10(8) 1087-1090 2018年8月1日
Dependence of CO2 Conversion to CH4 on the CO2 Flow Rate in a Helicon Discharge Plasma

Science of Advanced Materials 2018年5月1日査読有り
Effects of gas velocity on deposition rate and amount of cluster incorporation into a-Si:H films fabricated by SiH<inf>4</inf> plasma chemical vapor deposition

Takashi Kojima, Susumu Toko, Kazuma Tanaka, Hyunwoong Seo, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

Plasma and Fusion Research 13 2018年査読有り
Hysteresis in volume fraction of clusters incorporated into a-Si:H films deposited by SiH 4 plasma chemical vapor deposition

Surface and Coatings Technology 2017年10月査読有り
Optical Bandgap Energy of Si Nanoparticle Composite Films Deposited by a Multi-Hollow Discharge Plasma Chemical Vapor Deposition Method

Susumu Toko, Yoshinori Kanemitsu, Hyunwoong Seo, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY 16(10) 10753-10757 2016年10月査読有り筆頭著者
Correlation between SiH2/SiH and light-induced degradation of p-i-n hydrogenated amorphous silicon solar cells

Kimitaka Keya, Takashi Kojima, Yoshihiro Torigoe, Susumu Toko, Daisuke Yamashita, Hyunwoong Seo, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 55(7) 2016年7月査読有り
Cluster Incorporation into A-Si:H Films Deposited Using H 2 +SiH 4 Discharge Plasmas

S. Toko, Y. Torigoe, K. Keya, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP609 GT1.152 2015年9月1日査読有り
Raman spectroscopy of PIN hydrogenated amorphous silicon solar cells

K. Keya, Y. Torigoe, S. Toko, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani

Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP609 LW1.132 2015年9月1日査読有り
Effects of electrode structure on characteristics of multi-hollow discharges

Y. Torigoe, K. Keya, S. Toko, H. Seo, N. Itagaki, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani

Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP609 LW1.129 2015年9月1日査読有り

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MISC

プラズマを用いたCO2の水素還元における選択性の制御

都甲将、奥村賢直、鎌滝晋礼、竹中弘祐、古閑一憲、白谷正治、節原裕一

2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会, 熊本城ホール他3会場＆ハイブリッド開催 2023年9月
大気圧非平衡RFプラズマジェット照射が金属-有機材料異材直接接合に与える影響

竹中弘祐、中本壮太郞、小鑓亮輔、都甲将、内田儀一郎、節原裕一

2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会, 熊本城ホール他3会場＆ハイブリッド開催 2023年9月
プラズマを用いた CO2 の水素還元における選択性の制御

都甲将, 奥村賢直, 鎌滝邦弘, 竹中弘祐, 古閑一憲, 白谷正治, 節原裕一

2023年度第84回応用物理学会秋季学術講演会, オンライン 2023年9月
Formation of Ga-based amorphous oxide thin film transistors using plasma-assisted reactive processes

Kosuke Takenaka, Hibiki Komatsu, Susumu, Toko, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara

25th International Symposium on Plasma Chemistry（ISPC25）, Miyako Messe、Kyoto, Japan 2023年5月
大気圧非平衡プラズマジェットを用いた有機材料－金属異材接合技術の開発

竹中弘祐, 中本壮太郞, 小鑓亮輔, 都甲将, 内田儀一郎, 節原裕一

2023年第70回応用物理学会春季学術講演会, 上智大学四谷キャンパス＋オンライン 2023年3月
プラズマ支援反応性スパッタリングによるアモルファス酸化ガリウム薄膜形成

竹中弘祐, 小松響, 藤村知輝, 都甲将, 井手啓介, 江部明憲, 神谷利夫, 節原裕一

2023年第70回応用物理学会春季学術講演会, 上智大学四谷キャンパス＋オンライン 2023年3月
Droplet-Vaporization Behavior Analysis in Plasma for Fabrication of 3D Nanostructured Zinc Oxide Thin Films by Plasma-assisted Mist CVD

Kosuke Takenaka, Susumu Toko, Yuichi Setsuhara

15th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2023) / 16th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2023), Gifu University, Gifu, Japan 2023年3月
Development of Plasma Assisted Reactive Process for Uniform Formation of High Mobility Oxide Semiconductor Thin Film Transistors over Large Areas

Kosuke Takenaka, Tomoki Yoshitani, Susumu Toko, Giichiro Uchida, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara

7th International Conference on Advances in Functional Materials (AFM2022), Centennial Hall of Kyushu University. Kyushu, Japan 2023年1月
The effect of plasma off time on CO2 methanation using pulsed discharge plasma

T. Hasegawa, D. Yamashita, S. Toko, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani

AFM2023, 福岡県福岡市九大医学部百年記念講堂 2023年1月
Estimation of the excited CO density in plasma contributing to CO2 methanation by optical emission spectroscopy

S. Toko, T. Hasegawa, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

AFM2023, 福岡県福岡市九大医学部百年記念講堂 2023年1月
Improvement of energy efficiency for CO2 decomposition using molecular capture catalysts

Susumu Toko, Taiki Hasegawa, Takamasa Okumura, Kunihiro Kamataki, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara

第32回日本MRS年次大会 (MRS-J2021), 産業貿易センター（横浜） 2022年12月
Effects of water absorbent materials on CO2 methanation using plasma catalyst

T. Hasegawa, D. Yamashita, S. Toko, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani

MRS-J 2022, 相模原 2022年12月
Relationship between vibrational temperature and CO2 methanation with plasma catalysis

S. Toko, T. Hasegawa, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

MRS-J 2022, 神奈川県横浜市産業貿易センタービル 2022年12月
プラズマ支援反応性プロセスを用いた機能性薄膜の低温形成

竹中弘祐, 都甲将, 内田儀一郎, 江部明徳、節原裕一

第38回九州・山口プラズマ研究会, 指宿白水館 2022年11月
Effect of H2O capture in methanation with plasma catalysis

S. Toko, T. Hasegawa, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

DPS2022, オンライン 2022年11月
プラズマ触媒作用によるメタネーションにおけるH2O吸着の効果

S. Toko, T. Hasegawa, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

第38回九州山口プラズマ研究会, 鹿児島県指宿市指宿白水館 2022年11月
Development Plasma Processing Technology for Low-temperature Formation of High Quality Functional Thin Films

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Susumu Toko, Keisuke Ide, Toshio Kamiya

The 6th International Symposium on Visualization in Joining & Welding Science through Advanced Measurements and Simulation (Visual-JW2022) & The 2nd International Symposium on Design & Engineering by Joint Inverse Innovation for Materials Architecture (DEJI2MA-2), Senri Life Science Center, Osaka, Japan 2022年10月
Development of Virus Inactivation Technology with Integration of Atmospheric Pressure and Low Temperature Plasma Generation Control and Environmental Catalyst Technology

Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Susumu Toko, and Masatomo Hattori

The 6th International Symposium on Visualization in Joining & Welding Science through Advanced Measurements and Simulation (Visual-JW2022) & The 2nd International Symposium on Design & Engineering by Joint Inverse Innovation for Materials Architecture (DEJI2MA-2), Senri Life Science Center, Osaka, Japan 2022年10月
Relationship between vibrational temperature and CO2 methanation with plasma catalysis

S. Toko, T. Haseagawa, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

11th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-11)/2022 Gaseous Electronics Conference (GEC 2022)/40th Symposium on Plasma Processing (SPP-40)/35th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM35), Sendai International Center, Sendai, Japan 2022年10月
Low-Temperature Formation of High-Mobility IGZO Thin Films Transistors Fabricated with Plasma-Assisted Reactive Processes

Yuichi Setsuhara, Hibiki Komatsu, Susumu Toko, Kosuke Takenaka, Akinori Ebe

11th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-11)/2022 Gaseous Electronics Conference (GEC 2022)/40th Symposium on Plasma Processing (SPP-40)/35th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM35), Sendai International Center, Sendai, Japan 2022年10月

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講演・口頭発表等

プラズマ触媒作用を用いたCO2メタネーション

都甲将, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 竹中弘祐, 古閑一憲, 白谷正治, 節原裕一

2022年度第3回表面改質技術研究委員会 2023年2月招待有り
Low-temperature formation of functional oxide materials with plasma-assisted reactive processes

K. Takenaka, S. Toko, Y. Setsuhara

第32回日本MRS年次大会 (MRS-J2021) 2022年12月招待有り
大気圧非平衡高周波プラズマジェットの開発と有機ー金属異種材料接合への応用

節原裕一、町田陸朗、坊野哲也、陣田尭哉、都甲将、竹中弘祐、内田儀一郎

一般社団法人溶接学会第１３９回マイクロ接合研究委員会 2022年9月招待有り
反応性プラズマプロセスによる酸化物半導体薄膜形成

竹中弘祐, 都甲将, 節原裕一

2021 (令和3)年度第3回表面改質技術研究委員会 2022年2月
The role of plasma and catalyst in methanation of CO2 with plasma catalysis

S. Toko, M. Ideguchi, T. Haseagawa, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

5th Asia Pacific Conf. on Plasma Physics (AAPPS-DPP2021) 2021年9月
Plasma-assisted reactive processes for low-temperature formation of functional materials

Kosuke Takenaka, Yuji Hayashi, Hibiki Komatsu, Susumu Toko, Giichiro Uchida, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara

5th Asia Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2021) 2021年9月招待有り

都甲将

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