都甲将 (Susumu Toko) - マイポータル

基本情報

所属: 大阪大学接合科学研究所助教

J-GLOBAL ID: 201901000341259342
researchmap会員ID: B000380147

研究キーワード

プラズマ

研究分野

エネルギー / プラズマ科学 /

受賞

2022年11月

第20回(2022年秋季) 応用物理学会 Poster Award, 応用物理学会

竹中弘祐, 都甲将, 節原裕一

論文

Stability and gap states of a-IGZO TFTs fabricated with plasma-assisted reactive process: Impact of sputtering configuration and post-deposition annealing

Kosuke Takenaka, Shota Nunomura, Yuji Hayashi, Hibiki Komatsu, Susumu Toko, Hitoshi Tampo, Yuichi Setsuhara

Thin Solid Films 790 140203/1-140203/8 2024年2月査読有り
Improving bonding strength by non-thermal atmospheric pressure plasma-assisted technology for A5052/PEEK direct joining

Kosuke Takenaka, Akiya Jinda, Soutaro Nakamoto, Ryosuke Koyari, Susumu Toko, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara

The International Journal of Advanced Manufacturing Technology 130 903-913 2024年1月査読有り
Influence of pre-treatment using non-thermal atmospheric pressure plasma jet on aluminum alloy A1050 to PEEK direct joining with hot-pressing process

Kosuke Takenaka, Akiya Jinda, Soutaro Nakamoto, Ryosuke Koyari, Susumu Toko, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara

The International Journal of Advanced Manufacturing Technology 130 1925-1933 2024年1月査読有り
Improving the efficiency of CO2 methanation using a combination of plasma and molecular sieves

Susumu Toko, Takamasa Okumura, Kunihiro Kamataki, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara

Results in Surfaces and Interfaces In Press 2024年1月査読有り
Direct bonding of stainless steel and PEEK using non-thermal atmospheric pressure plasma-assisted joining technology

Kosuke Takenaka, Akiya Jinda, Soutaro Nakamoto, Susumu Toko, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara

Journal of Manufacturing Processes 105 276-281 2023年11月
プラズマ触媒作用を用いた二酸化炭素還元反応の促進に関する基礎研究

都甲将, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 竹中弘祐, 古閑一憲, 白谷正治, 節原裕一

スマートプロセス学会誌 13(1) 31-36 2023年10月査読有り
Analysis of residual oxygen during a-IGZO thin film formation by plasma-assisted reactive sputtering using a stable isotope

Kosuke Takenaka, Masashi Endo, Hiroyuki Hirayama, Susumu Toko, Giichiro Uchida, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara

Vacuum 215 112227-112227 2023年9月査読有り
Improving the efficiency of Sabatier reaction through H₂O removal with low-pressure plasma catalysis

Taiki Hasegawa, Susumu Toko, Kunihiro Kamataki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

Japanese Journal of Applied Physics 62(SL) SL1028-SL1028 2023年8月16日査読有り
Contribution of active species generated in plasma to CO₂ methanation

Susumu Toko, Taiki Hasegawa, Takamasa Okumura, Kunihiro Kamataki, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara

Japanese Journal of Applied Physics 62(SL) SL1023-SL1023 2023年7月3日査読有り
Analysis of oxygen-based species introduced during plasma assisted reactive processing of a-IGZO films

Kosuke Takenaka, Hiroyuki Hirayama, Masashi Endo, Susumu Toko, Giichiro Uchida, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara

Japanese Journal of Applied Physics 62(SL) SL1018-SL1018 2023年6月26日
Optical emission spectroscopy study in CO₂ methanation with plasma

Susumu Toko, Taiki Hasegawa, Takamasa Okumura, Kunihiro Kamataki, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara

Japanese Journal of Applied Physics 62(SI) SI1008-SI1008 2023年4月19日査読有り
Plasma processing technique by combination of plasma-assisted reactive sputtering and plasma annealing for uniform electrical characteristics of InGaZnO thin film transistors formed on large-area substrates

Kosuke Takenaka, Tomoki Yoshitani, Masashi Endo, Hiroyuki Hirayama, Susumu Toko, Giichiro Uchida, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara

Japanese Journal of Applied Physics 62 SI1005/1-SI1005/9 2023年3月査読有り
Effect of gas flow rate and discharge volume on CO2 methanation with plasma catalysis

Susumu Toko, Masashi Ideguchi, Taiki Haseagawa, Takamasa Okumura, Kunihiro Kamataki, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara

Japanese Journal of Applied Physics 61 SI1002/1-SI1002/6 2022年4月査読有り
Development of a non-thermal atmospheric pressure plasma-assisted technology for the direct joining of metals with dissimilar materials

Kosuke Takenaka, Rikuro Machida, Tetsuya Bono, Akiya Jinda, Susumu Toko, Giichiro Uchida, Yuichi Setsuhara

Journal of Manufacturing Processes 75 664-669 2022年1月査読有り
Spatiotemporal optical emission spectroscopy to estimate electron density and temperature of plasmas in solution

Kenichi Inoue, Shion Takahashi, Noritaka Sakakibara, Susumu Toko, Tsuyohito Ito, Kazuo Terashima

Journal of Physics D: Applied Physics 53(23) 235202-235202 2020年4月3日
Growing low-temperature, high-quality silicon-dioxide films by neutral-beam enhanced atomic-layer deposition

Hua-Hsuan Chen, Susumu Toko, Daisuke Ohori, Takuya Ozaki, Mitsuya Utsuno, Tomohiro Kubota, Toshihisa Nozawa, Seiji Samukawa

Journal of Physics D: Applied Physics 53(1) 015204-015204 2020年1月2日査読有り
Low-Pressure Methanation of CO₂ Using a Plasma–Catalyst System

Susumu Toko, Satoshi Tanida, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

Science of Advanced Materials 10(8) 1087-1090 2018年8月1日
Dependence of CO2 Conversion to CH4 on the CO2 Flow Rate in a Helicon Discharge Plasma

Science of Advanced Materials 2018年5月1日査読有り
Effects of gas velocity on deposition rate and amount of cluster incorporation into a-Si:H films fabricated by SiH<inf>4</inf> plasma chemical vapor deposition

Takashi Kojima, Susumu Toko, Kazuma Tanaka, Hyunwoong Seo, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

Plasma and Fusion Research 13 2018年査読有り
Hysteresis in volume fraction of clusters incorporated into a-Si:H films deposited by SiH 4 plasma chemical vapor deposition

Surface and Coatings Technology 2017年10月査読有り

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MISC

プラズマを用いたCO2のメタン化におけるモレキュラーシーブの活用

都甲将, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 竹中弘祐, 古閑一憲, 白谷正治, 節原裕一

2024年第71回応用物理学会春季学術講演会, 東京都市大学世田谷キャンパス＆オンライン 2024年3月
プラズマ支援反応性パルスDCスパッタリングを用いたa-IGZO薄膜の特性制御

竹中弘祐、上田拓海、都甲将、江部明憲、節原裕一

2024年第71回応用物理学会春季学術講演会, 東京都市大学世田谷キャンパス＆オンライン 2024年3月
Formation of amorphous gallium oxide thin film transistors using plasma-assisted reactive processes

Kosuke Takenaka, Hibiki Komatsu, Kazuya Ota, Susumu Toko, Keisuke Ide, Toshio Kamiya, Yuichi Setsuhara

16th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2024) / 17th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2024), 13th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-13), Nagoya University, Nagoya, Japan 2024年3月
Plasma-assisted mist chemical vapor deposition for formation of 3D nanostructured oxide thin films

Kosuke Takenaka, Susumu Toko, Yuichi Setsuhara

16th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2024) / 17th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2024), 13th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-13), Nagoya University, Nagoya, Japan 2024年3月
酸素原子の除去によるプラズマ触媒作用を用いたCO2還元反応の効率化

都甲将, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 竹中弘祐, 古閑一憲, 白谷正治, 節原裕一

第41回プラズマプロセシング研究会, 東京工業大学大岡山キャンパス 2024年1月
大気圧非平衡プラズマジェットを用いた表面処理による金属-ポリマー直接接合

竹中弘祐, 小鑓亮輔, 重森俊祥, 陣田尭哉, 中本壮太郞, 都甲将, 内田儀一郎, 節原裕一

第41回プラズマプロセシング研究会, 東京工業大学大岡山キャンパス 2024年1月
Improved efficiency of CO2 reduction reaction using plasma catalysis by removal of oxygen atoms

S. Toko, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, and Y. Setsuhara

41th Symposium on Plasma Processing, Tokyo Institute of Technology 2024年1月
Catalytic ability of Cu and Ni in methanation with plasma catalysis

S. Toko, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

MRM2023/IUMRS-ICA2023, Kyoto International Conference Center, Kyoto, Japan 2023年12月
Non-thermal atmospheric pressure plasma technology for advanced dissimilar-materials joining: enhancing metal joining with organic materials

K. Takenaka, R. Machida, T. Bono, A. Jinda, S. Nakamoto, R. Koyari, S. Toko, G. Uchida, Y. Setsuhara

MRM2023/IUMRS-ICA2023, Kyoto International Conference Center, Kyoto, Japan 2023年12月
Experimental study on the effect of plasma-catalyst interaction on methanation reaction

S. Toko, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, and Y. Setsuhara

97th IUVSTA Workshop on plasma-assisted conversion of gases for a sustainable future, Cerklje na Gorenjskem, Slovenia 2023年12月
Catalytic ability of Cu and Ni in methanation with plasma catalysis

S. Toko, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, and Y. Setsuhara

MRM2023/IUMRS-ICA2023, Kyoto International Conference Center 2023年12月
Fabrication of amorphous gallium oxide thin film transistors by plasma-assisted reactive processes

K. Takenaka, T. Komatsu, S. Toko, Y. Setsuhara

The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023), Winc Aichi, Nagoya, Japan 2023年11月
Synergistic Effects of Molecular Sieves and Plasma for CO2 Methanation

Yuichi Setsuhara, Susumu Toko, Kosuke Takenaka, Masatomo Hattori

The 3rd International Symposium on Design & Engineering by Joint Inverse Innovation for Materials Architecture (DEJI2MA-3), International Conference Center, Waseda University, Tokyo, Japan 2023年10月
Development of Plasma Processing Technology for Low-temperature Formation of High Quality Functional Thin Films

Kosuke Takenaka, Susumu Toko, Yuichi Setsuhara, Keisuke Ide, Toshio Kamiya

The 3rd International Symposium on Design & Engineering by Joint Inverse Innovation for Materials Architecture (DEJI2MA-3), International Conference Center, Waseda University, Tokyo, Japan 2023年10月
プラズマを用いたCO2の水素還元における選択性の制御

都甲将、奥村賢直、鎌滝晋礼、竹中弘祐、古閑一憲、白谷正治、節原裕一

2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会, 熊本城ホール他3会場＆ハイブリッド開催 2023年9月
大気圧非平衡RFプラズマジェット照射が金属-有機材料異材直接接合に与える影響

竹中弘祐、中本壮太郞、小鑓亮輔、都甲将、内田儀一郎、節原裕一

2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会, 熊本城ホール他3会場＆ハイブリッド開催 2023年9月
プラズマを用いた CO2 の水素還元における選択性の制御

都甲将, 奥村賢直, 鎌滝邦弘, 竹中弘祐, 古閑一憲, 白谷正治, 節原裕一

2023年度第84回応用物理学会秋季学術講演会, オンライン 2023年9月
Formation of Ga-based amorphous oxide thin film transistors using plasma-assisted reactive processes

Kosuke Takenaka, Hibiki Komatsu, Susumu, Toko, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara

25th International Symposium on Plasma Chemistry（ISPC25）, Miyako Messe、Kyoto, Japan 2023年5月
大気圧非平衡プラズマジェットを用いた有機材料－金属異材接合技術の開発

竹中弘祐, 中本壮太郞, 小鑓亮輔, 都甲将, 内田儀一郎, 節原裕一

2023年第70回応用物理学会春季学術講演会, 上智大学四谷キャンパス＋オンライン 2023年3月
プラズマ支援反応性スパッタリングによるアモルファス酸化ガリウム薄膜形成

竹中弘祐, 小松響, 藤村知輝, 都甲将, 井手啓介, 江部明憲, 神谷利夫, 節原裕一

2023年第70回応用物理学会春季学術講演会, 上智大学四谷キャンパス＋オンライン 2023年3月

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講演・口頭発表等

Experimental study on the effect of plasma-catalyst interaction on methanation reaction

S. Toko, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, and Y. Setsuhara

97th IUVSTA Workshop on plasma-assisted conversion of gases for a sustainable future 2023年12月招待有り
Plasma-assisted Mist CVD for Formation of 3D Nanostructured Zinc Oxide Thin Films

Kosuke Takenaka, Susumu Toko, Yuichi Setsuhara

Joint Conference of Global Plasma Forum and 24th Workshop on Fine Particle Plasmas (WFPP24) 2023年12月招待有り
プラズマ触媒作用を用いたCO2メタネーション

都甲将, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 竹中弘祐, 古閑一憲, 白谷正治, 節原裕一

2022年度第3回表面改質技術研究委員会 2023年2月招待有り
Low-temperature formation of functional oxide materials with plasma-assisted reactive processes

K. Takenaka, S. Toko, Y. Setsuhara

第32回日本MRS年次大会 (MRS-J2021) 2022年12月招待有り
大気圧非平衡高周波プラズマジェットの開発と有機ー金属異種材料接合への応用

節原裕一、町田陸朗、坊野哲也、陣田尭哉、都甲将、竹中弘祐、内田儀一郎

一般社団法人溶接学会第１３９回マイクロ接合研究委員会 2022年9月招待有り
反応性プラズマプロセスによる酸化物半導体薄膜形成

竹中弘祐, 都甲将, 節原裕一

2021 (令和3)年度第3回表面改質技術研究委員会 2022年2月
The role of plasma and catalyst in methanation of CO2 with plasma catalysis

S. Toko, M. Ideguchi, T. Haseagawa, T. Okumura, K. Kamataki, K. Takenaka, K. Koga, M. Shiratani, Y. Setsuhara

5th Asia Pacific Conf. on Plasma Physics (AAPPS-DPP2021) 2021年9月
Plasma-assisted reactive processes for low-temperature formation of functional materials

Kosuke Takenaka, Yuji Hayashi, Hibiki Komatsu, Susumu Toko, Giichiro Uchida, Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara

5th Asia Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2021) 2021年9月招待有り

都甲将

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