ラッピング加工ではスラリーをラップ定盤上に均一かつ広範囲に広げることが表面性状や研磨能率の向上のため重要であると言える．そこで，本研究ではラッピング加工に一般的に用いられる格子溝定盤上のスラリー挙動について観察を行った．その結果，ラッピング加工における定盤表面の格子溝はスラリー供給幅の拡大の効果があることを明らかにした．そして，数ミリサイズの気泡を含有するスラリーは格子溝定盤を用いることによりさらに定盤上で広がり易くなり，スラリー中の気泡は格子溝定盤とウェーハの間には入り込まないことを示した．