論文

査読有り
2019年6月

ラッピング加工における格子溝定盤上のミリバブルスラリー挙動

砥粒加工学会誌
  • 諏訪部 仁
  • ,
  • 石川 憲一
  • ,
  • 廣川 健吾

63
6
開始ページ
309
終了ページ
314
記述言語
日本語
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
出版者・発行元
(公社)砥粒加工学会

ラッピング加工ではスラリーをラップ定盤上に均一かつ広範囲に広げることが表面性状や研磨能率の向上のため重要であると言える.そこで,本研究ではラッピング加工に一般的に用いられる格子溝定盤上のスラリー挙動について観察を行った.その結果,ラッピング加工における定盤表面の格子溝はスラリー供給幅の拡大の効果があることを明らかにした.そして,数ミリサイズの気泡を含有するスラリーは格子溝定盤を用いることによりさらに定盤上で広がり易くなり,スラリー中の気泡は格子溝定盤とウェーハの間には入り込まないことを示した.

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