論文

査読有り
2020年9月

樹脂コーティングワイヤに食込む砥粒と切断特性に関する研究

砥粒加工学会誌
  • 諏訪部 仁
  • ,
  • 石川 憲一
  • ,
  • 伊藤 大貴

64
9
開始ページ
477
終了ページ
482
記述言語
日本語
掲載種別
出版者・発行元
公益社団法人砥粒加工学会

樹脂コーティングワイヤソーは樹脂をコーティングしたワイヤとダイヤモンド砥粒を懸濁させたスラリーを揺動振動型のマルチワイヤソーでスライシング加工する方法である.本加工方式ではワイヤ表面の樹脂に埋まり込んだ砥粒数が多い方が,加工歪みやウエハうねりが小さく,ウエハの鏡面加工が可能である.そこで,本研究では樹脂コーティングワイヤソーの加工原理の解明を目指している.本報告ではモデル実験機を用いてワイヤ往復走行,揺動振動や加工荷重等が樹脂ワイヤに食込む砥粒数に与える影響を明らかにした.そして,樹脂ワイヤに食込む砥粒数の増加により加工能率や表面粗さが向上することを明らかにした.

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