2021年 超音波加熱を利用した積層構造半導体デバイスの故障解析法において振動子-試料間距離が信号強度に与える影響 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会講演論文集(CD-ROM) 林隼也, 松井拓人, 川島朋裕, 村上義信, 穂積直裕, 松本徹 開催年月日 2021年 - 2021年