西岡 岳

Effects of Addition of Resin Particles to Ceria-Based Slurry on Pre-Metal Dielectric Planarization 

J. of the Electrochemical Society 157(5) H510-H515 2010年5月31日  査読有り

High Performance Photoresist Planarization Process by CMP with Resin Abrasive for Trench-First Cu/Low-k Dual Damascene Process 

J. of the Electrochemical Society 156(7) H548-H554 2009年7月31日  査読有り

High-Performance CMP Slurry with CeO2/Resin Abrasive for STI Formation 

Electrochemical Society Trns. 116(6) 277-283 2007年10月31日  査読有り

Cu Slurry Design for Cu/Low-k Interconnects 

Proc. of 12th International Conf. on CMP Planarization 2A 2007年2月28日  査読有り

Application of Bevel Polishing to Defect Reduction in FEOL Process Flow 

Proc. of 12th International Conf. on CMP Planarization 3C 2007年2月28日  査読有り

SiO2膜の化学的機械研磨に関する研究 

2006年9月13日  

Post Copper CMP Cleaning of Low-k Surface Using Resin Particles 

Proc. of 11th International Conf. on CMP Planarization 9B 2006年2月28日  査読有り

Mechanism of Moisture Uptake Induced Via Failure and its Impact on 45nm Node Interconnect Design 

Proc. of 2005 IEEE International Electron Device Meeting 183 2005年12月31日  査読有り

Focus Error Reduction by Photo-Resist Planarization in Via First Dual Damascene Process 

Proc. of 2005 IEEE International Interconnect Technology Conference 162 2005年5月31日  査読有り

Dynamical Contact Simulation by Finite Element Method for Chemical Mechanical Polishing Process 

Proc. of 2nd International Conf. on Structural Stability and Dynamics 1 647 2002年12月31日  査読有り

A New Poly-Si CMP Process with Small Erosion for Advanced Trench Isolation Process 

Material Research Society Symposium 612 D11.3.1 2000年4月30日  査読有り

宇宙用歯車の潤滑法と耐久性 

トライボロジスト 34(4) 35-42 1989年6月30日  査読有り

An Experimental Study on the Surface Modification of Ceramics for Vacuum Use 

Proc. of 5th InternationalCong. on Tribology 295-298 1989年6月30日  査読有り

宇宙用硬化歯車材料の摩擦・摩耗特性 

トライボロジスト 34(1) 28-35 1989年1月31日  査読有り

Development of Ball Bearings for a Paddle Drive Mechanisms 

Proc. of 15th International Symp. on Space Technology and Science 775-779 1986年5月31日  査読有り

Hydrodynamic Lubrication by Micro-asperities 

Proc. of JSLE International Tribology Conf. 223-226 1985年7月31日  査読有り