招待有り 2013年12月 プラズマプロセスの設計 ケミカルエンジニヤリング 白藤 立 巻 58 号 12 開始ページ 881 終了ページ 886 記述言語 日本語 掲載種別 記事・総説・解説・論説等（商業誌、新聞、ウェブメディア） エクスポート BibTeX RIS
