特許権
走査プローブ顕微鏡のカンチレバー及びその製造方法、並びに熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法及びその装置
株式会社日立ハイテクノロジーズ
- ,
- ,
- ,
- ,
- ,
- ,
- ,
- 出願番号
- 特願2012-116361
- 出願日
- 2012年5月22日
- 公開番号
- 特開2013-101099
- 公開日
- 2013年5月23日
- 特許番号/登録番号
- 特許第5832374号
- 登録日
- 発行日
- 2015年11月6日
- リンク情報
- ID情報
-
- J-Global ID : 201603008915470914