特許権
走査プローブ顕微鏡のカンチレバー及びその製造方法、並びに熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法及びその装置
株式会社日立ハイテクノロジーズ
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- 出願番号
- 特願2012-116361
- 出願日
- 2012年5月22日
- 公開番号
- 特開2013-101099
- 公開日
- 2013年5月23日
- リンク情報
- ID情報
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- J-Global ID : 201303072232135106