基本情報

所属
京都先端科学大学 工学部 教授 (学部長)
学位
博士(工学)(名古屋工業大学)

研究者番号
20288624
J-GLOBAL ID
200901020681535593
researchmap会員ID
5000066540

外部リンク

1956 年9 月21 日生。1981 年3 月名古屋工業大学大学院修士課程修了。同年(株)豊田中央研究所入社。1996 年4 月立命館大学理工学部機械工学科助教授。2000 年4 月同大学教授。2003 年9 月京都大学大学院工学研究科機械工学専攻教授。2005 年4 月京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻教授(改組)。2019年10月京都先端科学大学教授。2020年京都先端科学大学工学部教授(工学部長)。2022年12月京都先端科学大学副学長(工学部長兼務)。2000 年9 月~12 月ドイツ,フライブルグ大学客員教授,2001年1月~3 月スイス連邦工科大学客員教授。2010年4 月~2011 年3 月中国科学院招聘教授,2010 年5 月~2013年10月フライブルク大学高等研究所招聘上級研究員,2013年8月台湾国立成功大学招聘教授,2011年7 月~2014年7月中国華中科学技術大学招聘教授,2018年11月~2021年10月清華大学訪問教授。現在,マイクロ・ナノプロセス,マイクロ/ナノスケールアセンブル,シリコンマイクロセンサ・アクチュエータ,MEMS/NEMS の研究に従事。Journal of Micro Electro Mechanical Systems およびSensors and Actuators のeditor を務めると共にInternational Conference of Micro Electro Mechanical Systems はじめ多くの国際会議の論文委員を務める。1987 年日本ME 学会研究奨励賞,1991 年電気学会論文発表賞,1993年および1998 年R&D100Award,2002 年センサシンポジウムベストポスタ賞受賞。2004 年立命館大学渡辺三彦発明賞受賞。2014 年「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム最優秀技術論文賞受賞,2017年電気学会学術振興賞受賞,2017年電気学会業績賞受賞。電気学会 Fellow,日本機械学会,化学とマイクロシステム,IEEE Life Fellow。工学博士。


論文

  243

MISC

  572

書籍等出版物

  25

主要な講演・口頭発表等

  82

共同研究・競争的資金等の研究課題

  24

産業財産権

  33