田畑 修

1956 年9 月21 日生。1981 年3 月名古屋工業大学大学院修士課程修了。同年(株)豊田中央研究所入社。1996 年4 月立命館大学理工学部機械工学科助教授。2000 年4 月同大学教授。2003 年9 月京都大学大学院工学研究科機械工学専攻教授。2005 年4 月京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻教授（改組）。2019年10月京都先端科学大学教授。2020年京都先端科学大学工学部教授（工学部長）。2000 年9 月～12 月ドイツ，フライブルグ大学客員教授，200１年１月～3 月スイス連邦工科大学客員教授。2010年4 月～2011 年3 月中国科学院招聘教授，2010 年5 月～2013年10月フライブルク大学高等研究所招聘上級研究員，2013年8月台湾国立成功大学招聘教授，2011年7 月～2014年7月中国華中科学技術大学招聘教授，2018年11月～2021年10月清華大学訪問教授。現在，マイクロ・ナノプロセス，マイクロ/ナノスケールアセンブル，シリコンマイクロセンサ・アクチュエータ，MEMS/NEMS の研究に従事。Journal of Micro Electro Mechanical Systems およびSensors and Actuators のeditor を務めると共にInternational Conference of Micro Electro Mechanical Systems はじめ多くの国際会議の論文委員を務める。1987 年日本ME 学会研究奨励賞，1991 年電気学会論文発表賞，1993年および1998 年R&D100Award，2002 年センサシンポジウムベストポスタ賞受賞。2004 年立命館大学渡辺三彦発明賞受賞。2014 年「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム最優秀技術論文賞受賞，2017年電気学会学術振興賞受賞，2017年電気学会業績賞受賞。電気学会 Fellow，日本機械学会，社団法人エレクトロニクス実装学会，IEEE Senior会員。工学博士。