産業財産権

特許権

欠陥検査装置及び欠陥検査方法

株式会社日立製作所，豊橋技術科学大学
  • 遠藤久
    • ,
  • 高木宏幸
    • ,
  • 後藤太一
    • ,
  • 井上光輝
出願番号
特願2016-561207
出願日
2014年11月28日
公開番号
PCT/JP2014/081653
公開日
2014年11月28日
公表番号
WO/2016/084261
公表日
2016年6月2日
特許番号/登録番号
特許6236546
登録日
発行日
2017年11月2日
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