青木 学聡

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アバター
研究者氏名
青木 学聡
 
アオキ タカアキ
URL
http://sakura.nucleng.kyoto-u.ac.jp/~aoki/
所属
京都大学
部署
情報環境機構
職名
准教授
学位
博士(工学)(京都大学)
その他の所属
京都大学
科研費研究者番号
90402974
ORCID ID
0000-0002-5926-4903

研究分野

 
 

経歴

 
2016年3月
 - 
現在
京都大学 情報環境機構 准教授
 
2007年2月
 - 
2016年2月
京都大学 工学研究科 講師
 
2005年
 - 
2007年1月
京都大学 工学研究科 産学官連携助手
 
2002年
 - 
2005年
新エネルギー・産業技術開発機構からの委託事業「次世代量子ビーム利用ナノ加工技術プロセスの開発事業」研究員
 
2000年
 - 
2004年
新エネルギー・産業技術総合開発機構 新規産業創出型産業科学技術研究開発制度「クラスターイオンビームプロセステクノロジー」研究員
 

学歴

 
 
 - 
2000年
京都大学 工学研究科 電子物性工学専攻
 
 
 - 
1997年
京都大学 工学部 電子工学科
 

論文

 
AOKI Takaaki, KAJITA Shoji, MOTOKI Tamaki, IYEMORI Toshihiko, KAWAGUCHI Tomoko
Proc. 2019 8th International Congress on Advanced Applied Informatics (IIAI-AAI)   387-390   2019年7月   [査読有り]
青木 学聡,梶田 将司,元木 環,家森 俊彦,川口 朋子
DEIM Forum 2019   C2-1   2019年3月   [査読有り]
梶田 将司, 青木 学聡
情報処理学会研究報告   2017-IOT-38(4) 1-6   2017年6月
Toshio Seki, Hiroki Yamamoto, Takahiro Kozawa, Tadashi Shojo, Kunihiko Koike, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Japanese Journal of Applied Physics   56(6S2) 06HB02   2017年5月   [査読有り]
青木 学聡, 久門 尚史, 木村 真之, 蛯原 義雄, 下田 宏
研究報告教育学習支援情報システム(CLE)   2017(3) 1-5   2017年3月
京都大学電気電子工学科は 2016 年度に BYOD-PC を前提とした電気電子回路演習科目を必修科目として開始した.必修科目として演習を成立させるために 「ソフトウェア,ハードウェアの選定」, 「必修科目のためのセーフティネット構築」 を準備段階において検討し, これに合わせて演習カリキュラムを設計した. 一方, 演習の実施時段階においては, 京都大学のコース管理システムを積極的に活用し, 「テキスト, 各種資料の配布」, 「課題提出と個々の進捗確認」 をすべて電子的に行った. BYOD...
青木学聡, 久門尚史, 木村真之, 蛯原義雄, 下田宏
情報処理学会研究報告   CLE-2017-21(3) 1-5   2017年3月
Mao Tsunekawa, Eriko Amano, Hayahiko Ozono, Yui Nishizono, Shota Maeda, Yuko Matsumoto, Yasuyuki Minamiyama, Taro Misumi, Takaki Aoki, Koichi Ojiro, Kazutsuna Yamaji
Joho Chishiki Gakkaishi   27(4) 362   2017年   [査読有り]
Aoki, Takaaki Kajita, Shoji Akasaka, Hirokazu Takeda, Hagane
2017 6th IIAI International Congress on Advanced Applied Informatics (IIAI-AAI)   120-123   2017年   [査読有り]
青木 学聡, 喜多 一
   2016年12月
AXIES: 大学ICT推進協議会 2016年度 年次大会Webベースの情報システムは操作面での改善をユーザサイドでは行いにくいと いう欠点がある.コース管理システム(CMS)も教員が本格的に利用する上では授業を 受講する多くの学生と個々にインタラクションする場合の操作量が相当に多いという 課題があるがこれを実運用するサーバ側で改善することは管理上の問題なども発生す る.本報告では Sakai の課題ツールで回答を一括ダウンロードできることを利用し, 回答を効果的に閲覧するプログラムを作成...
Hubert Gnaser, Hubert Gnaser, Masakazu Kusakari, Makiko Fujii, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics   34(3) 5   2016年5月   [査読有り]
© 2016 American Vacuum Society.The emission of sputtered ions from isoleucine and leucine specimens under bombardment by 10 keV argon gas-cluster ions Ar 1000 + was investigated by orthogonal time-of-flight secondary ion mass spectrometry, in an a...
青木 学聡, 梶田 将司, 赤坂 浩一, 武田 鋼
大学ICT推進協議会2016年度年次大会      2016年12月
Masakazu Kusakari, Makiko Fujii, Toshio Seki, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics   34(3) 4   2016年5月   [査読有り]
© 2016 American Vacuum Society.A new secondary ion mass spectrometry device using an ion probe in the heavy mega-electron-volt (MeV) energy range was developed for detecting large intact molecules with high sensitivity under ambient conditions. Th...
Toshio Seki, Masakazu Kusakari, Makiko Fujii, Takaaki Aoki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms   371 189-193   2016年3月   [査読有り]
© 2015 Elsevier B.V. All rights reserved.Secondary ion mass spectrometry (SIMS) is a method with high surface sensitivity that allows both elemental and molecular analysis. However, volatile liquid (wet) samples are difficult to measure using conv...
Toshio Seki, Yu Yoshino, Takehiko Senoo, Kunihiko Koike, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Japanese Journal of Applied Physics   55(6S2) 06HB01   2016年5月   [査読有り]
Rie Shishido, Makiko Fujii, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo, Shigeru Suzuki
Rapid Communications in Mass Spectrometry   30(4) 476-482   2016年2月   [査読有り]
© 2016 John Wiley & Sons, Ltd.Rationale Bi cluster ions are used as a source of primary ions for time-of-flight secondary ion mass spectrometry (TOF-SIMS), and it has been recognized that secondary ion yields of macromolecules are higher with Bi c...
Matsuo J, Fujii M, Seki T, Aoki T.
Seimitsu Kogaku Kaishi/Journal of the Japan Society for Precision Engineering   82(4) 309-314   2016年1月   [査読有り]
Takaaki Aoki, Toshio Seki, Jiro Matsuo
Surface and Coatings Technology   306 63-68   2016年2月   [査読有り]
© 2016 Elsevier B.V.Molecular dynamics (MD) simulations are performed in order to investigate the radiation effects of a huge and slow gas cluster for the surface cleaning process. When a large argon cluster with the size ranging from 20,000 to 30...
Matsuo J, Fujii M, Seki T, Aoki T.
Journal of the Vacuum Society of Japan   59(5) 113-120   2016年1月   [査読有り]
Recent progress of cluster ion beam was overviewed. Various applications, such as nano-fabrication and biological material analysis, have been developed by using cluster effects, which are due to high-density and multiple collision between cluster...
I. Yamada, J. Matsuo, N. Toyoda, T. Aoki, T. Seki
Current Opinion in Solid State and Materials Science   19(1) 12-18   2015年2月   [査読有り]
Suzuki K, Kusakari M, Fujii M, Seki T, Aoki T, Matsuo J.
Surface and Interface Analysis   48(11) 1121-1121   2016年   [査読有り]
Masakazu Kusakari, Hubert Gnaser, Makiko Fujii, Toshio Seki, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo, Jiro Matsuo
International Journal of Mass Spectrometry   383-384 31-37   2015年1月
© 2015 Published by Elsevier B.V.Ten pure amino acid specimens (alanine, arginine, asparagine, glutamine, glutamic acid, isoleucine, leucine, phenylalanine, threonine, and tyrosine) and three binary mixtures (phenylalanine/tyrosine, phenylalanine/...
Toshio Seki, Yoshinobu Wakamatsu, Shunichiro Nakagawa, Takaaki Aoki, Akihiko Ishihara, Jiro Matsuo
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS   332    2014年8月   [査読有り]
Toshio Seki, Makiko Fujii, Masakazu Kusakari, Shunichiro Nakagawa, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Surface and Interface Analysis   46(12-13)    2014年12月   [査読有り]
Makiko Fujii, Shunichirou Nakagawa, Kazuhiro Matsuda, Naoki Man, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
RAPID COMMUNICATIONS IN MASS SPECTROMETRY   28(8)    2014年4月   [査読有り]
RATIONALE: Ar gas cluster ion beam secondary ion mass spectrometry (Ar-GCIB SIMS) has been developed as one of the most powerful tools used for analyzing complex biological materials because of its distinctively high secondary ion yield of large o...
Jiro Matsuo, Souta Torii, Kazuki Yamauchi, Keisuke Wakamoto, Masakazu Kusakari, Shunichiro Nakagawa, Makiko Fujii, Takaaki Aoki, Toshio Seki
APPLIED PHYSICS EXPRESS   7(5) 1-56602   2014年5月   [査読有り]
Recent developments in cluster ion beams for secondary ion mass spectrometry (SIMS) have enabled the realization of molecular depth profiling and mass imaging of organic and biological materials. Massive Ar cluster beams present reduced surface da...
Hubert Gnaser, Makiko Fujii, Shunichirou Nakagawa, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
INTERNATIONAL JOURNAL OF MASS SPECTROMETRY   360(1)    2014年3月   [査読有り]
Makiko Fujii, Masakazu Kusakari, Kazuhiro Matsuda, Naoki Man, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Surface and Interface Analysis   46 353-356   2014年1月
Copyright © 2014 John Wiley & Sons, Ltd.Secondary ion mass spectrometry (SIMS) is one of the powerful methods that can be applied to high sensitivity mass analysis and high-spatial resolution mass imaging. For the analysis of minor components of t...
Makiko Fujii, Shunichirou Nakagawa, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Surface and Interface Analysis   46 1129-1132   2014年1月
© 2014 John Wiley & Sons, Ltd.Ar gas cluster ion beam (Ar-GCIB) SIMS has been developed as one of the powerful tools used for analyzing organic materials because of the high secondary ion yield of large organic molecules due to 'soft' sputtering m...
藤井 麻樹子, 宍戸 理恵, 鳥居 聡太, 中川 駿一郎, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 鈴木 茂, 松尾 二郎
表面科学   35(7)    2014年1月
T. Seki, S. Shitomoto, S. Nakagawa, T. Aoki, J. Matsuo
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS   315    2013年11月   [査読有り]
Kazuya Dobashi, Kensuke Inai, Misako Saito, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing   26 328-334   2013年8月
In this paper, the ultrafine particle removal using CO2 gas cluster ion beam (GCIB) technology is investigated. The CO2 GCIB is irradiated the sample at an angle of 0 with respect to the surface normal. The higher particle removal efficiency can b...
Kazuya Dobashi, Kensuke Inai, Misako Saito, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING   26(3)    2013年8月   [査読有り]
Hubert Gnaser, Makiko Fujii, Shunichirou Nakagawa, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
RAPID COMMUNICATIONS IN MASS SPECTROMETRY   27(13) 1490-1496   2013年7月   [査読有り]
Takaaki Aoki, Toshio Seki, Jiro Matsuo
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS   303 170-173   2013年5月   [査読有り]
Yasuyuki Yamamoto, Kazuya Ichiki, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS   45(1) 167-170   2013年1月   [査読有り]
K. Ichiki, J. Tamura, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS   45(1)    2013年1月   [査読有り]
Aoki T.
Journal of Computational Electronics   1-14   2013年   [査読有り]
Takaaki Aoki, Toshio Seki, Jiro Matsuo
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS   282    2012年7月   [査読有り]
J. Matsuo, K. Ichiki, Y. Yamamoto, T. Seki, T. Aoki
SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS   44(6)    2012年6月   [査読有り]
T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY   206(5)    2011年11月   [査読有り]
Masaki Hada, Sachi Ibuki, Yusaku Hontani, Yasuyuki Yamamoto, Kazuya Ichiki, Satoshi Ninomiya, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   110(9)    2011年11月   [査読有り]
Yoshinobu Wakamatsu, Hideaki Yamada, Satoshi Ninomiya, Brian N. Jones, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Roger Webb, Jiro Matsuo
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS   269(20)    2011年10月   [査読有り]
Takaaki Aoki, Toshio Seki, Jiro Matsuo
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS   269(14)    2011年7月   [査読有り]
Satoshi Ninomiya, Kazuya Ichiki, Hideaki Yamada, Yoshihiko Nakata, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS   43(1-2)    2011年1月   [査読有り]
K. Ichiki, S. Ninomiya, Y. Nakata, H. Yamada, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS   43(1-2)    2011年1月   [査読有り]
H. Yamada, Y. Nakata, S. Ninomiya, T. Seki, T. Aoki, J. Tamura, J. Matsuo
SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS   43(1-2)    2011年1月   [査読有り]
Satoshi Ninomiya, Kazuya Ichiki, Hideaki Yamada, Yoshihiko Nakata, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS   43(1-2)    2011年1月   [査読有り]
Masaki Hada, Satoshi Ninomiya, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS   43(1-2)    2011年1月   [査読有り]
Yoshinobu Wakamatsu, Hideaki Yamada, Satoshi Ninomiya, Satoshi Ninomiya, Brian N. Jones, Toshio Seki, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Takaaki Aoki, Roger Webb, Jiro Matsuo, Jiro Matsuo
AIP Conference Proceedings   1321 233-236   2010年12月
Secondary Ion Mass spectrometry (SIMS) has been generally used in the field of material sciences. In recent years, it has also been applied for molecular imaging of biological samples. Nevertheless, molecular ions derived from the large molecules ...
K. Ichiki, S. Ninomiya, S. Ninomiya, T. Seki, T. Seki, T. Aoki, T. Aoki, J. Matsuo, J. Matsuo
AIP Conference Proceedings   1321 294-297   2010年12月
Gas cluster ion presents various irradiation effects such as high sputtering yields. It is important to study the optimum condition of incident cluster ion beam for applications in surface modification technology. In this study, the effects of inc...
Y. Yamamoto, K. Ichiki, S. Ninomiya, S. Ninomiya, T. Seki, T. Seki, T. Aoki, T. Aoki, J. Matsuo, J. Matsuo
AIP Conference Proceedings   1321 298-301   2010年12月
The sputtering yields of organic materials under large cluster ion bombardment are much higher than those under conventional monomer ion bombardment. The sputtering rate of arginine remains constant with fluence for an Ar cluster ion beam, but dec...
Kunihiko Koike, Yu Yoshino, Takehiko Senoo, Toshio Seki, Toshio Seki, Satoshi Ninomiya, Satoshi Ninomiya, Takaaki Aoki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Applied Physics Express   3    2010年12月
The characteristics of Si etching using nonionic cluster beams with highly reactive chlorine-trifluoride (ClF3) gas were examined. An etching rate of 40 μm/min or higher was obtained even at room temperature when a ClF3 molecular cluster was forme...
Masaki Hada, Yusaku Hontani, Sachi Ibuki, Kazuya Ichiki, Satoshi Ninomiya, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
AIP Conference Proceedings   1321 314-316   2010年12月
The surface of L-leucine films irradiated with an Ar5000 cluster ion beam (5 keV) was characterized by using the X-ray reflective (XRR) measurement method, atomic force microscopy (AFM) and ellipsometry. No significant damage was detected on the s...
T. Seki, Y. Yoshino, T. Senoo, K. Koike, S. Ninomiya, T. Aoki, J. Matsuo
AIP Conference Proceedings   1321 317-320   2010年12月
The reactive gas cluster injection process is an etching method that uses a neutral cluster beam without plasma. ClF3-Ar neutral cluster was generated and the Si etching characteristics with this beam were investigated. ClF3 is very high reactive ...
Jiro Matsuo, Teruyuki Kitagawa, Toshio Seki, Takaaki Aoki
Toraibarojisuto/Journal of Japanese Society of Tribologists   55 776-782   2010年12月
Takaaki Aoki, Toshio Seki, Toshio Seki, Jiro Matsuo, Jiro Matsuo
IWJT-2010: Extended Abstracts - 2010 International Workshop on Junction Technology   114-115   2010年7月
Molecular dynamics (MD) simulations of small boron clusters impacting on silicon (100) surface were carried out. The impacts of B10, B18 and B36 accelerated with 2keV, 3.6keV and 7.6keV (200eV per boron atom) showed characteristic irradiation effe...
Masaki Hada, Sachi Ibuki, Satoshi Ninomiya, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   49(3)    2010年   [査読有り]
Kunihiko Koike, Yu Yoshino, Takehiko Senoo, Toshio Seki, Satoshi Ninomiya, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
APPLIED PHYSICS EXPRESS   3(12)    2010年   [査読有り]
Satoshi Ninomiya, Kazuya Ichiki, Hideaki Yamada, Yoshihiko Nakata, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Transactions of the Materials Research Society of Japan   35(4)    2010年12月   [査読有り]
K Ichiki, S Ninomiya, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Transactions of the Materials Research Society of Japan   35(4)    2010年12月   [査読有り]
H Yamada, K Ichiki, Y Nakata, S Ninomiya, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Transactions of the Materials Research Society of Japan   35(4)    2010年12月   [査読有り]
松尾 二郎, 北川 晃幸, 瀬木 利夫, 青木 学聡
トライボロジスト   55(11)    2010年11月   [査読有り]
Jiro Matsuo, Satoshi Ninomiya, Hideaki Yamada, Kazuya Ichiki, Yoshinobu Wakamatsu, Masaki Hada, Toshio Seki, Takaaki Aoki
SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS   42(10-11)    2010年10月   [査読有り]
Hideaki Yamada, Kazuya Ichiki, Yoshihiko Nakata, Satoshi Ninomiya, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS   268(11-12)    2010年6月   [査読有り]
Takaaki Aoki, Toshio Seki, Jiro Matsuo
VACUUM   84(8)    2010年3月   [査読有り]
Satoshi Ninomiya, Kazuya Ichiki, Hideaki Yamada, Yoshihiko Nakata, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
RAPID COMMUNICATIONS IN MASS SPECTROMETRY   23(20)    2009年10月   [査読有り]
Takaaki Aoki, Toshio Seki, Jiro Matsuo
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS   267(18)    2009年9月   [査読有り]
Satoshi Ninomiya, Kazuya Ichiki, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS   267(16)    2009年8月   [査読有り]
T. Aoki, J. Matsuo
Extended Abstracts of the 9th International Workshop on Junction Technology, IWJT 2009      2009年6月   [査読有り]
J. Matsuo, K. Ichiki, M. Hada, S. Ninomiya, T. Seki, T. Aoki, T. Nagayama, M. Tanjyo
Extended Abstracts of the 9th International Workshop on Junction Technology, IWJT 2009      2009年6月   [査読有り]
Satoshi Ninomiya, Kazuya Ichiki, Hideaki Yamada, Yoshihiko Nakata, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
RAPID COMMUNICATIONS IN MASS SPECTROMETRY   23(11)    2009年6月   [査読有り]
Y. Nakata, H. Yamada, Y. Honda, S. Ninomiya, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS   267(12-13)    2009年6月   [査読有り]
Takaaki Aoki, Toshio Seki, Satoshi Ninomiya, Kazuya Ichiki, Jiro Matsuo
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS   267(8-9)    2009年5月   [査読有り]
T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS   267(8-9)    2009年5月   [査読有り]
Low Damage Etching of Polymer Materials for Depth Profile Analysis Using Large Ar Cluster Ion Beam
Satoshi Ninomiya, Kazuya Ichiki, Hideaki Yamada, Yoshihiko Nakata, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Journal of Surface Analysis   15(3)    2009年2月   [査読有り]
Yoshihiko Nakata, Yoshiro Honda, Satoshi Ninomiya, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
JOURNAL OF MASS SPECTROMETRY   44(1)    2009年1月   [査読有り]
Hideaki Yamada, Kazuya Ichiki, Yoshihiko Nakata, Satoshi Ninomiya, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Journal of the Mass Spectrometry Society of Japan   57(3)    2009年1月   [査読有り]
J MATSUO, S NINOMIYA, Y NAKATA, Y HONDA, K ICHIKI, T SEKI, T AOKI
Applied Surface Science   255(4)    2008年12月   [査読有り]
K. Ichiki, S. Ninomiya, Y. Nakata, Y. Honda, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
APPLIED SURFACE SCIENCE   255(4)    2008年12月   [査読有り]
SIMS Analysis of Biological Mixtures with Fast Heavy Ion Irradiation
Yoshiro Honda, Yoshihiko Nakata, Satoshi Ninomiya, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Transactions of the MRS-J   33(4)    2008年12月   [査読有り]
S NINOMIYA, K ICHIKI, Y NAKATA, Y HONDA, T SEKI, T AOKI, J MATSUO
Applied Surface Science   255(4)    2008年12月   [査読有り]
Satoshi Ninomiya, Yoshihiko Nakata, Yoshiro Honda, Kazuya Ichiki, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
APPLIED SURFACE SCIENCE   255(4)    2008年12月   [査読有り]
High-Speed Nano-Processing with Cluster Ion Beams
Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Transactions of the MRS-J   33(4)    2008年12月   [査読有り]
Y. Nakata, Y. Honda, S. Ninomiya, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
APPLIED SURFACE SCIENCE   255(4)    2008年12月   [査読有り]
T AOKI, T SEKI, S NINOMIYA, J MATSUO
Applied Surface Science   255(4)    2008年12月   [査読有り]
Low Damage Etching and SIMS Depth Profiling with Large Ar Cluster Ions
Satoshi Ninomiya, Jiro Matsuo, Kazuya Ichiki, Hideaki Yamada, Yoshihiko Nakata, Yoshiro Honda, Toshio Seki, Takaaki Aoki
Transactions of the MRS-J   33(4)    2008年12月   [査読有り]
Takeshi Hikata, Kazuhiko Hayashi, Tomoyuki Mizukoshi, Yoshiaki Sakurai, Itsuo Ishigami, Takaaki Aoki, Toshio Seki, Jiro Matsuo
Applied Physics Express   1    2008年2月   [査読有り]
The Effect of Incident Cluster Ion Size on Secondary Ion Yields Produced from Si
S Ninomiya, K Ichiki, Y Nakata, T Seki, T Aoki, Matsuo J
Transactions of the Materials Research Society of Japan   32(4)    2007年12月   [査読有り]
S. Kakuta, S. Sasaki, K. Furusawa, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY   201(19-20)    2007年8月   [査読有り]
Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS   261(1-2)    2007年8月   [査読有り]
Takaaki Aoki, Toshio Seki, Satoshi Ninomiya, Jiro Matsuo
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY   201(19-20)    2007年8月   [査読有り]
Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS   257    2007年4月   [査読有り]
Jiro Matsuo, Satoshi Ninomiya, Yoshihiko Nakata, Kazuya Ichiki, Takaaki Aoki, Toshio Seki
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS   257    2007年4月   [査読有り]
Satoshi Ninomiya, Kazuya Ichiki, Yoshihiko Nakata, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS   256(1)    2007年3月   [査読有り]
Satoshi Ninomiya, Yoshihiko Nakata, Kazuya Ichiki, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS   256(1)    2007年3月   [査読有り]
K. Ichiki, S. Ninomiya, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS   256(1)    2007年3月   [査読有り]
Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS   255(1)    2007年2月   [査読有り]
T. Aoki, J. Matsuo
Materials Research Society Symposium Proceedings   908    2006年   [査読有り]
Satoshi Ninomiya, Takaaki Aoki, Toshio Seki, Jiro Matsuo
APPLIED SURFACE SCIENCE   252(19)    2006年7月   [査読有り]
Satoshi Ninomiya, Takaaki Aoki, Toshio Seki, Jiro Matsuo
APPLIED SURFACE SCIENCE   252(19)    2006年7月   [査読有り]

書籍等出版物

 
クラスターイオンビーム基礎と応用-次世代ナノ加工プロセス技術-
山田公監修 (担当:分担執筆, 範囲:執筆(3.1, 3.4.2,3.6, 3.7)及び第3章責任編集)
日刊工業新聞社   2006年10月   

講演・口頭発表等

 
青木 学聡
研究・実験データの保管・共有の推進方策Ⅱ   2019年7月26日   
青木 学聡
ORCID Japan Workshop   2019年6月28日   
青木 学聡
Japan Open Science Summit 2019 「研究データマネジメント人材の育成を展望する」   2019年5月28日   
青木 学聡
第2回京都大学研究データマネジメントワークショップ   2019年2月28日   京都大学アカデミックデータ・イノベーションユニット
青木 学聡
第2回京都大学研究データマネジメントワークショップ   2019年2月28日   京都大学アカデミックデータ・イノベーションユニット
家森 俊彦, 川口 朋子, 元木 環, 青木 学聡, 梶田 将司, 天野 絵里子
第2回京都大学研究データマネジメントワークショップ   2019年2月28日   京都大学アカデミックデータ・イノベーションユニット
川口 朋子, 家森 俊彦, 元木 環, 青木 学聡, 梶田 将司
第2回京都大学研究データマネジメントワークショップ   2019年2月28日   京都大学アカデミックデータ・イノベーションユニット
青木 学聡
平成30年度大阪大学職員研修「オープンサイエンスの基礎知識:大学と研究データ」   2019年2月15日   
倫理審査申請システムと連携した臨床研究情報(必須文書/臨床研究データ)の 長期保管システムと臨床研究マスターファイルを組み合わせた臨床研究情報の 統合管理システムの構築
多田 春江, 竹之内 沙弥香, 青木 学聡, 船越 千尋, 吉田 寿志, 黒田 知宏, 森田 智視
日本臨床試験学会第10回学術集会総会   2019年1月25日   
京都大学アカデミックデータ・イノベーションユニット - ボトムアップによる多様な学術データマネジメント環境整備への提言
青木 学聡, 梶田 将司
International Workshop on Data Science   2018年11月15日   
Engaging Academia with Japan-wide Data Platforms and RDM CHarter
MIho FUNAMORI, Takaaki AOKI, Katsuhiko TOYAMA
FORCE2018 meeting   2018年10月12日   
液体材料の大気圧MeV-SIMS測定
瀬木 利夫, 石井 健太, 青木 学聡, 松尾 二郎
2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会   2018年9月21日   応用物理学会
ミスト法を用いたセシウム付加によるPEG表面の次イオン検出感度の向上
松田 大輝, 松尾 二郎, 瀬木 利夫, 青木 学聡
2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会   2018年9月21日   応用物理学会
画像分析技術のイメージングSIMS分析への応用
青木 学聡, 瀬木 利夫, 松尾 二郎
2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会   2018年9月21日   応用物理学会
大学での研究データ管理
青木 学聡
第4回RA協議会年次大会、「私たちがオープンサイエンスを進めるためにすべきこと」   2018年9月20日   RA協議会年次大会実行委員会
大学での研究データマネジメントの進め方
青木 学聡
Cloud week 2018@Hokkaido University   2018年9月3日   北海道大学基盤情報センター
全学的な研究データ保存システムの構築と運用
青木 学聡
平成30年度国立大学法人等情報化発表会   2018年8月31日   国立大学法人等情報化連絡協議会
研究データ長期保存サービスの試行と推進方策
青木 学聡
研究・実験データの保管・共有の推進方策   2018年8月21日   地域科学研究会・高等教育情報センター
京都大学でのORCID導入
青木 学聡
ORCID Japan Member Meeting   2018年4月17日   
ミスト法を用いたナトリウム付加によるPEG表面の2次イオン検出感度の向上
松田 大輝, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
第65回応用物理学会春季学術講演会   2018年3月20日   
固液界面分析に向けたAmbient SIMS法の開発
石井 健太, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
第65回応用物理学会春季学術講演会   2018年3月20日   
二次電子増倍管(CEM)を用いたビーム径測定システムの開発
山田 周平, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
第65回応用物理学会春季学術講演会   2018年3月20日   
反応性ガスクラスターインジェクションを用いた斜め2方向エッチングによる3D構造の作成
瀬木 利夫, 山本 洋揮, 古澤 孝弘, 荘所 正, 小池 国彦, 青木 学聡, 松尾 二郎
第65回応用物理学会春季学術講演会   2018年3月20日   
イオンビーム研究におけるデータマネジメント方針の予備的検討
青木 学聡
第65回応用物理学会春季学術講演会   2018年3月18日   
京都大学のオープンサイエンス動向
青木 学聡
第5回オープンサイエンスデータ推進ワークショップ   2018年3月1日   
研究データ管理を大学でどのように進めるか? [招待有り]
青木 学聡
図書館総合展フォーラム「あなたもなれるデータライブラリアン」   2017年11月17日   
Long-term archive system for university-wide research data preservation
青木 学聡, 梶田 将司, 赤坂 浩一, 武田 鋼
WDS Asia-Oceania Conference, 2017   2017年9月26日   
大学での研究データマネジメントを考える [招待有り]
青木 学聡
大学図書館問題研究会第48階全国大会   2017年9月11日   
ClF3中性クラスターエッチング表面の凹凸構造
瀬木 利夫, 荘所 正, 小池 国彦, 青木 学聡, 松尾 二郎
第78回応用物理学会秋季学術講演会   2017年9月6日   
パイプ型ノズルを用いた湿潤環境下SIMS測定
石井 健太, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
第78回応用物理学会秋季学術講演会   2017年9月6日   
PEG表面へのナトリウム付加による2次イオン検出感度向上
松田 大輝, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
第78回応用物理学会秋季学術講演会   2017年9月6日   
Chemical analysis under ambient conditions using swift heavy ion beams
12th European Conference on Acceleratorsin Applied Research and Technology   2017年7月7日   
研究データマネジメントと日本の大学
青木 学聡
第2回 SPARC Japan セミナー2016 (オープンアクセス・サミット2016)「研究データオープン化推進に向けて : インセンティブとデータマネジメント」   2016年10月26日   
研究データ管理と日本の大学 [招待有り]
青木 学聡
京都オープンサイエンス勉強会 第5回勉強会   2016年10月19日   
MARLOWE二体衝突シミュレータのプリ・ポストプロセス
青木 学聡, 瀬木 利夫, 松尾 二郎
第62回応用物理学会春季学術講演会   2015年3月14日   
ガスクラスターイオンビームを用いた有機材料の三次元質量イメージング技術の開発
若本 恵佑, 中川 駿一郎, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
第62回応用物理学会春季学術講演会   2015年3月14日   
低真空下におけるArクラスターイオンビームの輸送特性
鈴木 敢士, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
第62回応用物理学会春季学術講演会   2015年3月14日   
ClF3中性クラスタービームによる微細パターンエッチング
瀬木 利夫, 山本 洋揮, 古澤 孝弘, 吉野 裕, 妹尾 武彦, 小池 国彦, 青木 学聡, 松尾 二郎
第62回応用物理学会春季学術講演会   2015年3月14日   
大気圧分析を目指した高速重イオンプローブによる二次イオン質量分析法の開発
草刈 将一, 藤井 麻樹子, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
第62回応用物理学会春季学術講演会   2015年3月14日   
He 混合によるClF3 中性クラスター速度制御
瀬木利夫, 吉野裕, 妹尾武彦, 小池国彦, 唐橋一浩, 青木学聡, 松尾二郎
第75回応用物理学会秋季学術講演会   2014年9月18日   
Ar ガスクラスターイオンビームを用いた有機試料の三次元質量イメージング法の確立
若本恵佑, 中川駿一郎, 瀬木利夫, 青木学聡, 松尾二郎
第75回応用物理学会秋季学術講演会   2014年9月18日   
ケミカルアシスト法を用いた高感度MeV-SIMS分析に関する研究
藤井麻樹子, 草刈将一, 瀬木利夫, 青木学聡, 松尾二郎
第75回応用物理学会秋季学術講演会   2014年9月18日   
MeV重イオンを用いた揮発性混合試料の低真空二次イオン質量分析
草刈将一, 藤井麻樹子, 瀬木利夫, 青木学聡, 松尾二郎
第75回応用物理学会秋季学術講演会   2014年9月18日   
Recent Progress in Cluster Beam -- from Semiconductor to Soft Materials
J. Matsuo, T. Seki, T. Aoki, M. Fujii
The 19th International Conference on Ion Beam Modification of Materials (IBMM 2014)   2014年9月17日   
Highly Accurate Biological Analysis using Ar-GCIB SIMS with Chemical Assist Ionization
M. Fujii, S. Nakagawa, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
The 15th IUMRS-International Conference in Asia (IUMRS-ICA 2014)   2014年8月25日   
Molecular Dynamics Simulation of Gas Cluster Impact on Coner-shaped Target
T. Aoki, T. Seki, J. Matsuo
The 15th IUMRS-International Conference in Asia (IUMRS-ICA 2014)   2014年8月25日   
アルゴンガスクラスターSIMS法の生体イメージング質量分析への応用
藤井麻樹子, 中川駿一郎, 瀬木利夫, 青木学聡, 松尾二郎
第41回BMSコンファレンス   2014年7月8日   
MeV-SIMS with swift heavy ions at low pressure [招待有り]
Jiro Matsuo, Masakazu Kusakari, Makiko Fujii, Toshio Seki, Takaaki Aoki
14th International Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications   2014年7月8日   
High Resolution Imaging Mass with Focused Ar Cluster Beam
J. Matsuo, S. Torii, K. Yamauchi, K. Wakamoto, M. Kusakari, S. Nakagawa, M. Fujii, T. Aoki, T. Seki
The 16th International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions (SISS16)   2014年6月20日   
Organic Materials Analysis Using Different Primary Bi Ions in TOF-SIMS
R. Shishido, M. Fujii, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo, S. Suzuki
The 16th International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions (SISS16)   2014年6月19日   
Highly Sensitive Lipid Analysis and Imaging Mass Spectrometry with Cluster SIMS Apparatus
M. Fujii, R. Shishido, S. Torii, S. Nakagawa, T. Seki, T. Aoki, S. Suzuki, J. Matsuo
The 16th International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions (SISS16)   2014年6月19日   
Possibilities and Limitations of Biological Analysis with novel Ar-GCIB SIMS Apparatus
M. Fujii, S. Nakagawa, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
The 16th International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions (SISS16)   2014年6月19日   
Study of multiple collision effects in cluster impact by molecular dynamics simulations [招待有り]
Takaaki Aoki
The Conference on Application of Accelerators in Research and Industry (CAARI2014)   2014年5月28日   
Possibilities and Limitations of MeV-SIMS for Biological Applications [招待有り]
Makiko Fujii, Masakazu Kusakari, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
The Conference on Application of Accelerators in Research and Industry (CAARI2014)   2014年5月26日   
Lipid Compounds Analysis with Argon Gas Cluster Ion Beam Irradiation
M. Fujii, S. Nakagawa, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
The Conference on Application of Accelerators in Research and Industry (CAARI2014)   2014年5月26日   
クラスターSIMS法を用いた脂質分子の高速イメージング質量分析
藤井麻樹子, 宍戸理恵, 鳥居聡太, 山内一輝, 若本恵佑, 中川駿一郎, 瀬木利夫, 青木学聡, 鈴木茂, 松尾二郎
日本質量分析学会第62回質量分析総合討論会   2014年5月15日   
低真空二次イオン質量分析法(Wet-SIMS)の開発
松尾二郎, 草刈将一, 藤井麻樹子, 青木学聡, 瀬木利夫
第61回応用物理学会春季学術講演会   2014年3月19日   
角形状を持つ標的材料へのクラスターイオン衝突シミュレーション
青木学聡, 瀬木利夫, 松尾二郎
第61回応用物理学会春季学術講演会   2014年3月18日   
ClF3クラスタービームによる大面積Siエッチング技術(2)
吉野裕, 妹尾武彦, 小池国彦, 瀬木利夫, 青木学聡, 松尾二郎
第61回応用物理学会春季学術講演会   2014年3月17日   
Arクラスターイオンビームを用いた細胞レベルの質量イメージング
鳥居聡太, 瀬木利夫, 青木学聡, 松尾二郎
第61回応用物理学会春季学術講演会   2014年3月17日   
水クラスターイオンビーム照射によるSIMS分析
中川駿一郎, 瀬木利夫, 青木学聡, 松尾二郎
第61回応用物理学会春季学術講演会   2014年3月17日   
中性クラスター速度計測技術の開発
瀬木利夫, 唐橋一浩, 青木学聡, 松尾二郎
第61回応用物理学会春季学術講演会   2014年3月17日   
新しい二次イオン質量分析法を用いた生体試料中の脂質分析
藤井麻樹子, 草刈将一, 中川駿一郎, 瀬木利夫, 青木学聡, 松尾二郎
第61回応用物理学会春季学術講演会   2014年3月17日   
低真空下における揮発性試料の二次イオン質量分析に関する検討
草刈将一, 藤井麻樹子, 瀬木利夫, 青木学聡, 松尾二郎
第61回応用物理学会春季学術講演会   2014年3月17日   
Si Etching with ClF3 Neutral Cluster Beam from Multi-nozzle
T. Seki, Y. Yoshino, T. Senoo, K. Koike, T. Aoki, J. Matsuo
23rd Annual Meeting of MRS-J   2013年12月10日   
Low Vacuum SIMS Measurement of Higher Alcohols with MeV-energy Heavy Ion Beam
M. Kusakari, M. Fujii, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
23rd Annual Meeting of MRS-J   2013年12月10日   
Computer simulation of cluster impact on soft- and hard- material interface
T. Aoki, T. Seki, J. Matsuo
23rd Annual Meeting of MRS-J   2013年12月10日   
Lipid Compounds Analysis with Swift Heavy Ion Beam for Biological Applications,
M. Fujii, M. Kusakari, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
23rd Annual Meeting of MRS-J   2013年12月10日   
Depth analysis of organic matelial by SIMS, using gas cluster ion beam
S. Nakagawa, M. Kusakari, M. Fujii, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
23rd Annual Meeting of MRS-J   2013年12月10日   
Ambient Analysis with Wet-SIMS
M. Fujii, S. Nakagawa, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
9th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices '13   2013年12月2日   
クラスターSIMS法による脂質分子の高感度検出とイメージングへの応用
松尾二郎, 中川駿一郎, 鳥居聡太, 藤井麻樹子, 瀬木利夫, 青木学聡
第33回表面科学学術講演会・第54回真空に関する連合講演会   2013年11月26日   
京都大学工学研究科研究成果データベースの構築と活用
青木 学聡, 瀬木 利夫, 浅野 義直, 奥中 敬浩, 茶谷 祥太郎, 江種 里榮子, 伊藤 ますみ, 福山 淳
第3回URAシンポジウム・第5回RA研究会合同大会   2013年11月18日   
Lipid Compounds Analysis with MeV-SIMS Apparatus for Biological Applications
M. Fujii, M. Kusakari, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
2nd Workshop on Strategic Japanese-Croatian Cooperative Program   2013年11月15日   
Introduction to computer simulation programs for atomic collision
T. Aoki
2nd Workshop on Strategic Japanese-Croatian Cooperative Program   2013年11月14日   
Analysis of liquid materials with Wet-SIMS
T. Seki, M. Fujii, M. Kusakari1, S. Nakagawa, T. Aoki, J. Matsuo
2nd Workshop on Strategic Japanese-Croatian Cooperative Program   2013年11月14日   
Mass Imaging of Biological Samples with Focused Massive Ar Cluster Ion Beams
S. Nakagawa, M. Fujii, T. Aoki, T. Seki, J. Matsuo
AVS 60th International Symposium & Exhibition   2013年10月28日   
Depth analysis of DSPC by SIMS, using gas cluster ion beam
S. Nakagawa, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
SIMS XIX 19th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry   2013年10月3日   
Possibilities and Limitations of Ar GCIB SIMS for Biological Applications
M. Fujii, S. Nakagawa, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
SIMS XIX 19th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry   2013年10月3日   
Liquid Sample Measurements using Wet SIMS Apparatus with Swift Heavy Ion Beam
M. Fujii, M. Kusakari, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
SIMS XIX 19th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry   2013年10月3日   
Generation of Ar cluster ion beam for high spatial resolution SIMS
S. Torii, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
SIMS XIX 19th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry   2013年10月3日   
Secondary Ion Mass Spectrometry with Methanol Cluster Ions
S. Nakagawa, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
SIMS XIX 19th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry   2013年10月1日   
ClF3クラスタービームによる大面積Siエッチング技術
吉野裕, 妹尾武彦, 小池国彦, 瀬木利夫, 青木学聡, 松尾二郎
第74回応用物理学会秋季学術講演会   2013年9月20日   
コア-シェル構造を持つクラスターの衝突シミュレーション
青木学聡, 瀬木利夫, 松尾二郎
第74回応用物理学会秋季学術講演会   2013年9月19日   
高空間分解能クラスターSIMS用プローブの形成
鳥居聡太, 松尾二郎, 瀬木利夫, 青木学聡
第74回応用物理学会秋季学術講演会   2013年9月19日   
マルチノズルを用いたClF3中性クラスタービームによるSiエッチング
瀬木利夫, 吉野裕, 妹尾武彦, 小池国彦, 青木学聡, 松尾二郎
第74回応用物理学会秋季学術講演会   2013年9月19日   
ガスクラスターイオンビームによる有機デバイスの深さ方向SIMS分析
中川駿一郎, 瀬木利夫, 青木学聡, 松尾二郎
第74回応用物理学会秋季学術講演会   2013年9月19日   
高速重イオンビームを用いた脂質の二次イオン質量分析
藤井麻樹子, 草刈将一, 瀬木利夫, 青木学聡, 松尾二郎
第74回応用物理学会秋季学術講演会   2013年9月19日   
二次イオン質量分析法によるイメージング技術の進展と展望
松尾二郎, 中川駿一郎, 藤井麻樹子, 鳥居聡太, 瀬木利夫, 青木学聡
第61回質量分析総合討論会   2013年9月11日   
新しいイオンビームを用いた脂質の二次イオン質量分析
藤井麻樹子, 草刈将一, 中川駿一郎, 瀬木利夫, 青木学聡, 松尾二郎
第61回質量分析総合討論会   2013年9月11日   
Chemical Reaction on the Specimen Surface by Cluster Ion Beam Irradiation
M. Fujii, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
2013 JSAP-MRS Joint Symposia   2013年9月9日   
高速重イオン照射による脂質の二次イオン質量分析
藤井麻樹子, 草刈将一, 瀬木利夫, 青木学聡, 松尾二郎
第40回BMSコンファレンス   2013年7月9日   
Molecular ion imaging with swift heavy ions [招待有り]
Jiro Matsuo, Shunichiro Nakagawa, Makiko Fujii, Toshio Seki, Takaaki Aoki
The 17th International Conference on Radiation Effects in Insulators (REI-17)   2013年7月3日   
Bio-imaging with MeV-energy heavy ion beams [招待有り]
Toshio Seki, Sho Shitomoto, Shunichiro Nakagawa, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
The 21st International Conference on Ion Beam Analysis (IBA 2013)   2013年6月24日   
Development of MeV-SIMS imaging system with electrostatic quadrupole lens
T. Seki, S. Shitomoto, S. Nakagawa, T. Aoki, J. Matsuo
The 15th International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions (SISS-15)   2013年4月26日   
Study on the Sputtering Mechanism of Amino Acid with Ar Cluster Ion Beam Irradiation
M. Fujii, H. Gnaser, S. Nakagawa, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
The 15th International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions (SISS-15)   2013年4月25日   
Effects of cluster ion beam irradiation with a mixture of noble and reactive gases on inorganic solids
S. Nakagawa, T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
The 15th International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions (SISS-15)   2013年4月25日   
Siトレンチ構造への巨大フッ素クラスター衝突のMDシミュレーション
青木学聡, 瀬木利夫, 松尾二郎
第60回応用物理学会春季学術講演会   2013年3月29日   
ClF3中性クラスタービームによる反応性エッチングの高速化
瀬木利夫, 吉野裕, 妹尾武彦, 小池国彦, 青木学聡, 松尾二郎
第60回応用物理学会春季学術講演会   2013年3月29日   
高速重イオンをプローブとした質量イメージング技術の高速化とその応用
志戸本祥, 瀬木利夫, 青木学聡, 松尾二郎
第60回応用物理学会春季学術講演会   2013年3月29日   
高空間分解能SIMS用クラスターイオン源の開発
鳥居聡太, 瀬木利夫, 青木学聡, 松尾二郎
第60回応用物理学会春季学術講演会   2013年3月29日   

Misc

 
瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
電気学会研究会資料. OQD = The papers of technical meeting on optical and quantum devices, IEE Japan   2018(22) 29-33   2018年3月
松尾 二郎, 瀬木 利夫, 青木 学聡
表面と真空   61(7) 426-434   2018年
<p>Recent progress of SIMS technique is reported in conjunction with novel primary ion beams and advanced mass spectrometers. Numerous applications of SIMS have been proposed and demonstrated in last decade, covering from organic semiconductors to...
松尾 二郎, 藤井 麻樹子, 瀬木 利夫, 青木 学聡
真空技術   59(5) 113-120   2016年
&emsp;Recent progress of cluster ion beam was overviewed. Various applications, such as nano-fabrication and biological material analysis, have been developed by using cluster effects, which are due to high-density and multiple collision between c...
宍戸 理恵, 藤井 麻樹子, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎, 鈴木 茂
表面科学学術講演会要旨集   35(0)    2015年
一次イオンにクラスターを用いたStaticタイプのSIMSが市販化されるようになると、分析の対象が無機材料から生体材料、ポリマー材料などのソフトマテリアルへと広がった。更に、LMIGを用いた電界放射でのイオン化により、高輝度なイオンビーム照射が実現し、高空間分解能でのイメージング分析が可能になってきた。本発表では、一次イオンにBiクラスターを採用したTOF-SIMSを用いて、一次イオン種がイメージ分解能に与える影響について議論する。
藤井 麻樹子, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
表面科学学術講演会要旨集   35(0)    2015年
近年、クラスターSIMS法を用いた有機材料分析が盛んに行われている。しかしながら、一般に複雑な組成や構造を持つ生体試料に対しては、その高精細な分析は未だ困難である。我々の研究グループでは、独自に作製した種々の有機モデル試料を用いて、クラスターSIMS法を用いた生体試料分析における質量分解能、空間分解能、検出限界や定量性に関する評価を行った。本発表では現在の課題と将来展望に関する議論を行う。
松尾 二郎, 鈴木 敢士, 草刈 将一, 藤井 麻樹子, 青木 学聡, 瀬木 利夫
表面科学学術講演会要旨集   35(0)    2015年
脂肪酸や脂質分子は、細胞膜の主要構成分子だけでなく様々なシグナル伝達物質としての役目も負っている興味深い分子である。クラスターSIMS法では多数の脂質分子イオンを同時に高感度に検出でき、その分布を可視化する分子イメージングできるという利点がある。脂質分子の高感度検出とその分子イメージングへの応用について、実サンプルの評価結果交えて議論する。
松尾 二郎, 中川 俊一郎, 鳥居 聡太, 藤井 麻樹子, 瀬木 利夫, 青木 学聡
表面科学学術講演会要旨集   33(0)    2013年
<br>脂肪酸や脂質分子は、細胞膜の主要構成分子だけでなく様々なシグナル伝達物質としての役目も負っている興味深い分子である。クラスターSIMS法では多数の脂質分子イオンを同時に高感度に検出でき、その分布を可視化する分子イメージングできるという利点がある。脂質分子の高感度検出とその分子イメージングへの応用について、実サンプルの評価結果交えて議論する。
松尾 二郎, 中川 駿一郎, 志戸本 祥, 鳥居 聡太, 瀬木 利夫, 青木 学聡
表面科学学術講演会要旨集   32(0)    2012年
細胞膜などで普遍的にみられる脂質薄膜をクラスターSIMS法で評価した。ソフトなイオン化法であるクラスターSIMS法は、脂質分子を壊すことなくイオン化でき、構造評価に適した手法である。また、ラットの脳切片などへの応用も示す。
松尾 二郎, 市木 和弥, 瀬木 利夫, 青木 学聡
表面科学学術講演会要旨集   31(0) 171-171   2011年
二次イオン質量分析法の持つ高い空間分解能を活かし、培養細胞や生体組織切片への応用を進めており、細胞一個を観察することが可能となっている。最新のSIMS法の生命科学への応用を、我々の研究成果を中心に実例を交えながら紹介し、高分解質量イメージング法としての今後の課題や展望について議論する。
松尾 二郎, 瀬木 利夫, 青木 学聡
表面科学 : hyomen kagaku = Journal of the Surface Science Society of Japan   31(11) 564-571   2010年11月
Masaki Hada, Sachi Ibuki, Satoshi Ninomiya, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Japanese Journal of Applied Physics   49    2010年7月
We characterized the thickness and surface damage layer of poly(methyl metacrylate) (PMMA) organic films irradiated with Ar cluster or monomer ion beam using ellipsometry. A heavily damaged layer was detected on the surface of the PMMA film irradi...
Kazuya Ichiki, Satoshi Ninomiya, Toshio Seki, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuol, Jiro Matsuol
Materials Research Society Symposium Proceedings   1181 135-140   2010年5月
Ar cluster ions in the size range 1000-16000 atoms/cluster were irradiated onto Si substrates at incident energies of 10 and 20 keV and the sputtering yields were measured. Incident cluster ions were size-selected by using the time-of-flight (TOF)...
松尾 二郎, 瀬木 利夫, 二宮 啓, 青木 学聡
砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers   54(5) 272-275   2010年5月
松尾 二郎, 瀬木 利夫, 青木 学聡
表面科学   31(11) 564-571   2010年
A brief overview for recent progress of cluster ion beams is presented in conjunction with atomistic collision dynamics, cluster size effects and nano-process developments. Unique characteristics of cluster ion beam are utilized not only for nano-...
若松 慶信, 山田 英丙, 二宮 啓, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 石原 昭彦, 松尾 二郎
表面科学学術講演会要旨集   30(0) 197-197   2010年
高速重イオンをプローブとした二次イオン質量分析法(SIMS)は、1μm程度の面分解能で分析可能なことに加え、従来のSIMSに比較し高分子に対して高い感度での分析、および1000 Pa程度の低真空下に保持されたサンプルの分析が可能である。本発表では高速イオンによるSIMSでラットの脳組織内に含まれるリン脂質のイメージングを実施した結果を報告する。
山本 恭千, 市木 和弥, 二宮 啓, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
表面科学学術講演会要旨集   30(0) 308-308   2010年
二次イオン質量分析法(SIMS)を用いた質量イメージングは工業や医学への応用が期待されている。しかし、従来の数keVのモノマーイオンを用いたSIMS分析では有機試料の分子構造を破壊してしまうという問題がある。我々は低損傷での照射が可能なクラスターイオンを用いたSIMSについて研究しており、今回の研究ではArクラスターSIMSを用いた高面分解能の質量イメージングを取得するための装置開発を行った。
松尾 二郎, 市木 和弥, 山本 恭千, 若松 慶喜, 青木 学聡, 瀬木 利夫
表面科学学術講演会要旨集   30(0) 447-447   2010年
二次イオン質量分析法を使った細胞や組織切片のイメージング技術についてのべるとともに、実際のアプリケーションに必要な問題点や課題を明らかにする。有機分子分析や質量イメージング法の実現に必要な一次イオンビームの特性、次世代のSIMSに求められているハードウェアーなどについても検討し、新しいSIMS分析法の開発状況を報告する。
Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Extended Abstracts of the 9th International Workshop on Junction Technology, IWJT 2009   131-132   2009年12月
Damage accumulation and annihilation processes with low-energy boron implantation were studied by molecular dynamics (MD) simulation. The MD simulation of B atom accelerated with 500eV iteratively implanted into Si(100) target showed that the numb...
Jiro Matsuo, Kazuya Ichiki, Masaki Hada, Satoshi Ninomiya, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Tsutomu Nagayama, Masayasu Tanjyo
Extended Abstracts of the 9th International Workshop on Junction Technology, IWJT 2009   84-85   2009年12月
Cluster ion implantation has a great potential for semiconductor manufacturing, such as ultra shallow junction formation and strain engineering of channel. Stress in Si implanted with carbon cluster ions (C7H 7) was much higher than that in Si imp...
Yamada Hideaki, Ichiki Kazuya, Nakata Yoshihiko, NINOMIYA Satoshi, SEKI Toshio, AOKI Takaaki, MATSUO Jiro
質量分析 = Mass spectroscopy   57(3) 117-121   2009年6月
We developed a processing technique for biological samples, that is, animal cells, for imaging mass spectrometry using gas cluster ion beams. Secondary ion mass spectrometry has been investigated for cellular imaging with high spatial resolution. ...
若松 慶信, 山田 英丙, 中田 由彦, 二宮 啓, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
表面科学学術講演会要旨集   29(0) 35-35   2009年
近年、生体試料における質量イメージング技術の発展が期待されている。SIMSは高真空下での分析手法であるが、高速重イオンをプローブとすることにより低真空下でのSIMSに成功した。本発表では、数千Pa程度の低真空下で質量イメージングを行うための分析系の開発とその結果について報告する。
Takaaki Aoki, Toshio Seki, Jiro Matsuo
IWJT-2008 - Extended Abstracts 2008 International Workshop on Junction Technology   49-54   2008年9月
By the recent development of high-performance computing, molecular dynamics method has been a powerful technique for analyzing collisions between cluster and solid target system. In this paper, molecular dynamics simulations of various kinds of cl...
中田 由彦, 山田 英丙, 本田 善郎, 二宮 啓, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
質量分析 = Mass spectroscopy   56(4) 201-208   2008年8月
In this paper, we describe mass spectrometric techniques using swift heavy ions, for biological application. Desorption of large biomolecular ions due to irradiation by swift heavy ions was first observed in 1974, and the time-of-flight mass spect...
Hikata Takeshi, Hayashi Kazuhiko, Mizukoshi Tomoyuki, SAKURAI Yoshiaki, ISHIGAMI Itsuo, AOKI Takaaki, SEKI Toshio, MATSUO Jiro
Applied physics express   1(3) "34002-1"-"34002-3"   2008年3月
Takeshi Hikata, Kazuhiko Hayashi, Tomoyuki Mizukoshi, Yoshiaki Sakurai, Itsuo Ishigami, Takaaki Aoki, Toshio Seki, Jiro Matsuo
Applied Physics Express   1 0340021-0340023   2008年3月
We have fabricated carbon nanotubes (CNTs) using a catalyzed growth technique that we call the carbon transmission method (CTM). We could control independently functions for carbon source gas supply and CNT growth by using a foil barrier (Ag) pene...
松尾 二郎, 二宮 啓, 青木 学聡, 瀬木 利夫
Journal of Surface Analysis   14(3) 196-203   2008年
<p> 原子・分子が同時に同じ場所に多数衝突するクラスターイオンでは,非線形照射効果と呼ばれる新しい現象が起こる.これを利用し様々な分野で画期的な成果が報告されており,従来のイオンビーム技術の限界を打破する新しい原理に基づく新技術として期待されている.ここでは,クラスターイオン特有の非線形現象について述べるとともに,そのナノプロセスへの応用やクラスターイオンを1次イオンとして用いるクラスターSIMSなどの分析技術についても概観する.</p>
青木 学聡, Seki Toshio, Matsuo Jiro
兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集   2008 224-227   2008年
瀬木 利夫, Aoki Takaaki, Matsuo Jiro
兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集   2008 259-264   2008年
Takaaki Aoki, Toshio Seki, Jiro Matsuo
Extended Abstracts of the 7th International Workshop on Junction Technology, IWJT 2007   23-24   2007年12月
The MD simulations of B monomer and small cluster implantation were performed. The non-linear effect for implant range was observed when the incident energy is as low as few hundreds eV/atom, where the B10 or B18 cluster implantation gives deeper ...
Jiro Matsuo, Takaaki Aoki, Toshio Seki
Extended Abstracts of the 7th International Workshop on Junction Technology, IWJT 2007   53-54   2007年12月
More than ten years have passed since cluster ion implantation was proposed by Kyoto University. Cluster ion implanters equipped with a specially designed ion source are announced for device manufacturing. This technique is now a candidate for ult...
二宮 啓, 市木 和弥, 中田 由彦, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
日本物理学会講演概要集   62(0)    2007年
二宮 啓, 青木 学聡, 瀬木 利夫, 中田 由彦, 市木 和弥, 松尾 二郎
日本物理学会講演概要集   61(0)    2006年
二宮 啓, 市木 和弥, 中田 由彦, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
日本物理学会講演概要集   61(0)    2006年
二宮 啓, 市木 和弥, 中田 由彦, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
表面科学講演大会講演要旨集   26(0) 106-106   2006年
クラスターイオンをプローブとする有機物の二次イオン質量分析は、単原子イオンと比較して収率が高く試料の損傷も少ない。しかしクラスター照射での収率増加機構や最大収率を与えるための入射サイズの最適化については、ほとんど研究されていない。そこで本研究ではサイズ選別したArクラスターをアミノ酸薄膜に照射し、二次イオンを飛行時間型質量分析法を用いて測定することにより収率の入射サイズ依存性について調べた。
市木 和弥, 二宮 啓, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎
表面科学講演大会講演要旨集   26(0) 108-108   2006年
クラスターイオンは単原子イオンと比較して、低速で高エネルギー密度での照射が容易であるため、高精度かつ高効率な表面分析、表面改質が可能とされている。しかし、クラスターと固体表面との相互作用は十分に理解されていない。よって本研究では、クラスターイオン照射によりSi試料から放出される二次イオン収率の入射サイズ依存性を飛行時間型質量分析法を用いて分析し、クラスター照射効果について考察する。
Takaaki Aoki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo, Isao Yamada, Isao Yamada
Novel Materials Processing by Advanced Electromagnetic Energy Sources   231-234   2005年12月
This chapter discusses the surface structure dependence of impact processes of gas cluster ions. The surface modification processes utilizing the impact of large cluster ions is also proposed. One of the unique properties of cluster ion impact is ...
N. Toyoda, S. Houzumi, T. Aoki, I. Yamada
Novel Materials Processing by Advanced Electromagnetic Energy Sources   219-222   2005年12月
This chapter reveals the experimental study of cluster size effect with size-selected cluster ion beam. A size-selected gas cluster ion beam (GCIB) system is developed to study the size effects of energetic large cluster ion bombardments on a soli...
L. K. Ono, T. Aoki, T. Aoki, T. Seki, T. Seki, J. Matsuo, A. Itoh
Novel Materials Processing by Advanced Electromagnetic Energy Sources   227-230   2005年12月
This chapter discusses the gas cluster ion beam source for secondary ion emission measurements. When solids are bombarded with cluster ions, collision cascades induced by individual constituent atoms of the cluster overlap each other. Energy densi...
Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Materials Research Society Symposium Proceedings   908 18-24   2005年12月
To investigate the size-effect of reactive clusters on sputtering processes, we performed molecular dynamics (MD) simulations of reactive cluster ions with various sizes impacting on solid targets. Various sizes of fluorine clusters, (F2)30, (F2)3...
Shigeru Kakuta, Shigeru Kakuta, Toshio Seki, Toshio Seki, Shinji Sasaki, Shinji Sasaki, Kenji Furusawa, Kenji Furusawa, Takaaki Aoki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Surface and Coatings Technology   196 198-202   2005年6月
Energy resolved time of flight (ERTOF) mass spectroscopy has been developed to measure the energy and size distributions in a gas cluster ion beam (GCIB). Gas cluster ions, being aggregates of a few to several thousands of atoms, were generated by...
Shigeru Kakuta, Shigeru Kakuta, Shinji Sasaki, Shinji Sasaki, Kenji Furusawa, Kenji Furusawa, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Materials Research Society Symposium Proceedings   843 183-188   2005年6月
Oblique irradiation using a gas cluster ion beam (GCIB) has been studied in order to achieve low-damage smoothing of magnetic materials. We investigated how the surface morphology and surface roughness depended on the angle of incidence. Quite smo...
Satoshi Ninomiya, Chikage Imada, Masafumi Nagai, Yoshihiko Nakata, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo, Nobutsugu Imanishi
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms   230 483-488   2005年4月
Total sputtering yields have been measured for SiO2 and Cu targets bombarded with Si ions at an incident energy between 500 keV and 5.0 MeV using a quartz crystal microbalance technique. In order to measure total yields accurately, we have develop...
Yoshihiko Nakata, Satoshi Ninomiya, Chikage Imada, Masafumi Nagai, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo, Nobutsugu Imanishi
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms   230 489-494   2005年4月
We have measured both secondary neutral and ionized particles from an InSb target under 3.0 MeV Si ion bombardment. Measurements of both ions and neutrals have not been carried out so far in the MeV-energy range. The mass spectra and axial emissio...
Takaaki Aoki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms   228 46-50   2005年1月
Molecular dynamics (MD) simulations of cluster and solid target collisions were performed in order to understand the relationship between surface deformation processes and cluster sizes. MD simulations of single impacts of clusters with various si...
二宮 啓, 中田 由彦, 青木 学聡, 松尾 二郎, 伊藤 秋男
日本物理学会講演概要集   60(0)    2005年
中田 由彦, 二宮 啓, 青木 学聡, 土田 秀次, 松尾 二郎, 伊藤 秋男
日本物理学会講演概要集   60(0)    2005年
中田 由彦, 二宮 啓, 青木 学聡, 土田 秀次, 松尾 二郎, 伊藤 秋男
日本物理学会講演概要集   60(0)    2005年
Takaaki Aoki, Takaaki Aoki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms   216 185-190   2004年2月
Molecular dynamics (MD) simulations of Ar cluster impacts on Si surfaces were performed in order to examine the evolution of surface morphology with cluster irradiations. The MD results revealed that the impact process of cluster is different depe...
二宮 啓, 中田 由彦, Aoki T., 松尾 二郎, 伊藤 秋男
日本物理学会講演概要集   59(0)    2004年
Takaaki Aoki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo, Isao Yamada, Isao Yamada
Materials Research Society Symposium - Proceedings   792 497-502   2003年12月
In order to understand the characteristics of surface modification process with cluster ion irradiation, molecular dynamics simulations of Ar cluster impacting on Si surface with various surface structures were carried out. It was found that the s...
Shigeru Kakuta, Shigeru Kakuta, Toshio Seki, Toshio Seki, Shinji Sasaki, Shinji Sasaki, Kenji Furusawa, Kenji Furusawa, Takaaki Aoki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo
Materials Research Society Symposium - Proceedings   792 599-604   2003年12月
Ar penetration during gas cluster ion beam (GCIB) irradiation has been investigated using secondary ion mass spectroscopy (SIMS). The concentration of Ar rose to a maximum and then decreased gradually with increasing depth. The depth of the Ar pen...
Noriaki Toyoda, Shingo Houzumi, Takaaki Aoki, Isao Yamada
Materials Research Society Symposium - Proceedings   792 623-628   2003年12月
A size-selected gas cluster ion beam (GCIB) system has been developed to study the size effects of energetic large cluster ion bombardments on a solid surface for the first time. This system equipped a permanent magnet with a magnetic flux density...
A. Nakai, T. Aoki, T. Seki, J. Matsuo, G. H. Takaoka, I. Yamada
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms   206 842-845   2003年5月
Smoothing effect is one of the advantages of cluster ion beam. It is important to estimate an ion dose to achieve required surface smoothness. The smoothing rate with cluster ion beam depends on surface profiles. In this work, modeling of surface ...
Jiro Matsuo, Toshio Seki, Takaaki Aoki, Isao Yamada
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms   206 838-841   2003年5月
New surface modification processes have been demonstrated using gas cluster ion irradiations, because of the unique interaction between cluster ions and surface atoms, atomistic mechanisms of cluster ion bombardment must be understood for the furt...
Takaaki Aoki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo, Gikan Takaoka, Isao Yamada, Isao Yamada
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms   206 861-865   2003年5月
Molecular dynamics simulations of Ne, Ar and Xe clusters with various sizes impacting on Si surfaces were performed in order to study damage formation processes. When cluster size ranged from several tens to several thousands and accelerated energ...
Noriaki Toyoda, Jiro Matsuo, Takaaki Aoki, Isao Yamada, David B. Fenner
Applied Surface Science   203-204 214-218   2003年1月
Secondary ion mass spectrometry (SIMS) with gas cluster ion beams (GCIB) was studied with experiments and molecular dynamics (MD) simulations to achieve a high-resolution depth profiling. From MD simulations of Ar cluster ion impact on a Si substr...
青木 学聡, 松尾 二郎, 高岡 義寛
電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   102(540) 25-28   2002年12月
次世代以降の微小CMOSデバイスの作製には,エネルギーが数百eVという低エネルギーイオン注入が必要となる.しかしながら,入射エネルギーの低下によりイオンの注入レンジが低下すると,入射イオン種の表面への析出やセルフスパッタリング等が生じ,実効的なイオンドーズ量の低下や,ドーズ量の制御が困難になるといわれている.今回,入射イオンの蓄積・脱離過程を調べるために,ホウ素イオンを連続的にシリコン表面に注入する分子動力学シミュレーションを行った.
Takaaki Aoki, Takaaki Aoki, Jiro Matsuo, Gikan Takaoka
Proceedings of the International Conference on Ion Implantation Technology   22-27-September-2002 560-563   2002年1月
© 2002 IEEE.Cluster ion implantation using small boron cluster, decaborane (B10H14), has been proposed as the solution for shallow junction formation. Investigation of damage formation process by low-energy ion impact is important issue because di...
千葉 俊一, 青木 学聡, 松尾 二郎, 高岡 義寛
電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   100(517) 23-28   2000年12月
反応性イオンエッチングにおいてイオン照射が果たす役割を解明するため, FイオンをSi表面に連続的に照射する分子動力学シミュレーションを行った.Fイオンの照射に伴い基板表面にSi原子とF原子の混合層が形成され, 一部がフッ化シリコン(Si_xF_y)として脱離した.平衡状態における基板表面やエッチング生成物が照射エネルギーの違いにより異なることが示され, 反応性イオンエッチングにおけるイオン照射の役割が明らかになった.
草場 拓也, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 松尾 二郎, 加勢 正隆, 後藤 賢一, 杉井 寿博, 山田 公
電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   98(445) 97-104   1998年12月
低エネルギーデカボランイオン注入における損傷の形成とその増速拡散への影響について検討をおこなった。デカボランの注入エネルギーの低下に伴い、増速拡散は抑制される。また、3keVのデカボランイオン注入においてドーズ量1×10^14〜10^15atoms/cm^2の範囲では、基板表面近傍にアモルファス層が形成されているために、拡散距離は注入ドーズ量に依存しないことが明らかとなった。さらに、デカボランイオン注入においては、実効注入エネルギーの等しい単原子ボロンよりも多くの損傷を形成できることが分か...
山田 公, 松尾 二郎, 豊田 紀章, 青木 学聡
真空   41(11) 932-939   1998年11月
山田 公, 松尾 二郎, 豊田 紀章, 青木 学聡, INSEPOV Zinetulla
表面科学   18(12) 743-751   1997年12月
山田 公, 松尾 二郎, 豊田 紀章, 青木 学聡
電気学会研究会資料. MC, 金属・セラミックス研究会   1997(1) 27-34   1997年11月
山田 公, 松尾 二郎, 豊田 紀章, 青木 学聡, INSEPOV Zinetulla
表面科学   18(12) 743-751   1997年
Sputtering with gas cluster ions, which are aggregates of a few thousands of atoms, has been investigated experimentally and theoretically. Cluster ion beam etching is equivalent to low-energy high-current ion etchings with very low damage. Intere...
青木 学聡, 島田 規広, 竹内 大輔, 松尾 二郎, Insepov Zinetulla, 山田 公
電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   96(396) 49-54   1996年12月
数十から数千の原子集団であるクラスターをイオン化し,照射するクラスターイオンビーム法は,等価的に低エネルギーのイオン照射を可能とする.サイズ13のBクラスターに1原子あたり230eVのエネルギーを与え,Si(100)表面に衝突させるシミュレーションを行った結果,230eVの単原子Bと同様の注入分布が得られた.またクラスターサイズを13,43,169と大きくするに従い,等しい総加速エネルギーでありながら,Bの注入深さが浅くなり,チャネリングを生じるB原子の割合が減少することが分かった. これ...

競争的資金等の研究課題

 
文部科学省: 科学研究費補助金(基盤研究(A))
研究期間: 2011年 - 2013年    代表者: 松尾 二郎
巨大クラスターは数千と多数の原子分子からなるため数keVに加速しても運動エネルギーがそれぞれの原子に分配され、数eVの低エネルギーイオンビームと同じ速度を持つ。これにより低損傷エッチングを実現でき、ポリマーや生体高分子などの機能性有機材料のの深さ方向分析が可能となる。すでに機能性有機材料として実用化されている有機半導体の多層膜の深さ分析に成功しており、その有用性を示してきた。さらに、多くの材料の深さ分析を行い、これまで有機物の深さ分析に用いられてきたC60イオンなどと比較して、ダメージが少...
文部科学省原子力システム研究開発事業「時間・空間スケーラビリティーを備えた統合原子シミュレーションの研究」
原子力関係研究
研究期間: 2005年 - 2008年

特許

 
松尾 二郎, 瀬木 利夫, 青木 学聡, 土橋 和也, 井内 健介, 斉藤 美佐子
大野 茂, 佐々木 新治, 古澤 賢司, 松尾 二郎, 青木 学聡, 瀬木 利夫
佐藤 明伸, 鈴木 晃子, ブーレル エマニュエル, 松尾 二郎, 瀬木 利夫, 青木 学聡
佐藤 明伸, 鈴木 晃子, ブーレル エマニュエル, 松尾 二郎, 瀬木 利夫, 青木 学聡
鈴木 晃子, 佐藤 明伸, ブーレル エマニュエル, 松尾 二郎, 瀬木 利夫, 青木 学聡