2011年4月 - 2014年3月
巨大クラスターイオンによる機能性有機材料評価技術の研究
日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(A) 基盤研究(A)
- 課題番号
- 23246012
- 体系的課題番号
- JP23246012
- 担当区分
- 連携研究者
- 配分額
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- (総額)
- 49,140,000円
- (直接経費)
- 37,800,000円
- (間接経費)
- 11,340,000円
- 資金種別
- 競争的資金
大きなサイズのArクラスターイオンは有機材料を低ダメージにスパッタリングできるため、SIMS法やXPS法での実用化が始まった。クラスターイオン銃を供えた表面分析装置が市販され、クラスターイオンが有機材料分析のデファクトスタンダードとなった。深さ方向分析だけでなくArクラスターイオンを収束し、SIMS法の1次イオンとして用いることにより、質量イメージングを実現した。これまで、Arクラスターイオンを収束させることは困難であると考えられてきたが、約1ミクロンに収束させることに成功した。これにより、収束Arクラスターイオンビームを使った分子イメージング法への道が開拓できた。
- リンク情報
- ID情報
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- 課題番号 : 23246012
- 体系的課題番号 : JP23246012