基本情報

所属
パナソニック株式会社 マニュファクチャリングイノベーション本部 課長
九州大学 プラズマナノ界面工学センター 客員准教授
学位
博士(工学)(2019年3月 九州大学)

J-GLOBAL ID
201901020449405389

新規プラズマ源を用いたプロセス・設備開発に取り組んでいます.
従来からのスパッタリング技術に加え,近年では熱プラズマを用いた材料プロセシング技術の開発を推進しています.


研究キーワード

  5

論文

  8

講演・口頭発表等

  21

社会貢献活動

  1

産業財産権

  21