大熊 崇文
オオクマ タカフミ (Takafumi Okuma)
更新日: 06/29
基本情報
- 所属
- パナソニック株式会社 マニュファクチャリングイノベーション本部 課長
- 九州大学 プラズマナノ界面工学センター 客員准教授
- 学位
-
博士(工学)(2019年3月 九州大学)
- J-GLOBAL ID
- 201901020449405389
新規プラズマ源を用いたプロセス・設備開発に取り組んでいます．
従来からのスパッタリング技術に加え，近年では熱プラズマを用いた材料プロセシング技術の開発を推進しています．
研究分野
5経歴
6-
2019年10月 - 現在
-
2018年10月 - 現在
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2008年10月 - 2018年9月
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2007年4月 - 2008年9月
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2005年4月 - 2007年3月
委員歴
8-
2020年4月 - 現在
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2020年4月 - 現在
-
2020年1月 - 現在
学歴
3-
2017年4月 - 2019年3月
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1995年4月 - 1997年3月
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1991年4月 - 1995年3月
論文
8-
Journal of Chemical Engineering Japan (Accepted) 2020年 査読有り
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九州大学 学位論文 2019年3月
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IEEE Transactions on Plasma Science 47(1) 32 - 38 2019年1月 査読有り
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Journal of Fluid Science and Technology 13(4) 18-00119 2018年11月 査読有り
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Journal of Fluid Science and Technology 12(3) 17-00131 2017年12月 査読有り
講演・口頭発表等
21-
24th International Symposium on Plasma Chemistry, P3-86 (Naples, Italy) 2019年6月13日
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Gordon Research Conference (Bryant University, USA) 2018年8月8日
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The 7th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology, TD3-3 (Incheon, Korea) 2018年7月26日 招待有り
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14th International Conference on Fluid Dynamics (Sendai International Center) 2017年11月2日
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The 9th JSME-KSME Thermal and Fluids Engineering Conference, TFEC9-1277 (Okinawa Convention Center) 2017年10月30日
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13th International Conference on Fluid Dynamics, OS14-8 (Sendai International Center) 2016年11月11日
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31st International Congress on High-Speed Imaging and Photonics, p.601-604, 2P-34 (Hotel Hankyu Expo Park) 2016年11月8日
社会貢献活動
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