基本情報

所属
パナソニック株式会社 マニュファクチャリングイノベーション本部 課長
九州大学 プラズマナノ界面工学センター 客員教授
学位
博士(工学)(2019年3月 九州大学)

ORCID ID
 https://orcid.org/0000-0003-1039-1677
J-GLOBAL ID
201901020449405389

新規プラズマ源を用いたプロセス・設備開発に取り組んでいます.
従来からのスパッタリング技術に加え,近年では熱プラズマを用いた材料プロセシング技術の開発を推進しています.


研究キーワード

  5

論文

  8

主要な講演・口頭発表等

  24

学術貢献活動

  5

主要な産業財産権

  72

メディア報道

  1