基本情報

所属
パナソニック インダストリー株式会社 デバイスソリューション事業部 抵抗・センサビジネスユニット 森田生産技術部 部長
九州大学 プラズマナノ界面工学センター 客員教授
学位
博士(工学)(2019年3月 九州大学)

ORCID ID
 https://orcid.org/0000-0003-1039-1677
J-GLOBAL ID
201901020449405389
researchmap会員ID
B000351849

入社から約20年間,新規プラズマ源を用いたプロセス・設備開発に取り組んできました.
従来からのスパッタリング技術に加え,熱プラズマを用いた材料プロセシング技術の開発も推進しました.

現在は事業部門にて,チップ抵抗器事業に生産技術部門の責任者として携わっています.


研究キーワード

  5

論文

  8

主要な講演・口頭発表等

  36

学術貢献活動

  5

主要な産業財産権

  72

メディア報道

  1