特許権 スパッタリング方法 パナソニックＩＰマネジメント株式会社 大熊崇文, 末次大輔, 平崎貴英 出願番号 特願2018-165882 出願日 2018年9月5日 公開番号 特開2019-99907 公開日 2019年6月24日 特許番号/登録番号 特許第6660603号 登録日 2020年2月13日 発行日 出願国 国内 取得国 国内
