特許権 スパッタリング装置 パナソニック株式会社 大熊崇文, 林信孝, 中野光彦, 堀健一郎, 平田信治 出願番号 特願2006-155744 出願日 2006年6月5日 公開番号 特開2007-321226 公開日 2007年12月13日 特許番号/登録番号 特許第4720625号 登録日 2011年4月15日 発行日 出願国 国内 取得国 国内
